名正(浙江)电子装备有限公司潘照宇获国家专利权
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龙图腾网获悉名正(浙江)电子装备有限公司申请的专利一种具备中心加压结构的固定设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223790197U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520157337.7,技术领域涉及:B24B37/34;该实用新型一种具备中心加压结构的固定设备是由潘照宇;魏永利;徐宏飞设计研发完成,并于2025-01-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具备中心加压结构的固定设备在说明书摘要公布了:本申请涉及一种具备中心加压结构的固定设备,包括主抛光头,所述主抛光头包括压力板和安装在压力板周向的若干夹持块,所述压力板一侧抵接设置有陶瓷盘,所述若干夹持块抵接于陶瓷盘周向,所述陶瓷盘背离压力板一侧均匀设置有若干晶圆,所述压力板内设置有加压组件,所述加压组件包括加压孔、活塞结构、加压板、盖板和进气嘴,所述加压孔开设于压力板中心,加压孔贯穿压力板,所述活塞结构滑移设置于加压孔内,活塞结构阻断加压孔,所述加压板安装在活塞结构朝向陶瓷盘一侧,所述盖板于压力板背离陶瓷盘一侧安装于压力板上,盖板闭合加压孔,所述进气嘴安装在盖板上,进气嘴连通加压孔。本申请具有提升晶圆表面平坦度的效果。
本实用新型一种具备中心加压结构的固定设备在权利要求书中公布了:1.一种具备中心加压结构的固定设备,包括主抛光头1,所述主抛光头1包括压力板101和安装在压力板101周向的若干夹持块102,所述压力板101一侧抵接设置有陶瓷盘2,所述若干夹持块102抵接于陶瓷盘2周向,所述陶瓷盘2背离压力板101一侧均匀设置有若干晶圆3,其特征在于:所述压力板101内设置有加压组件4,所述加压组件4包括加压孔41、活塞结构42、加压板43、盖板44和进气嘴45,所述加压孔41开设于压力板101中心,加压孔41贯穿压力板101,所述活塞结构42滑移设置于加压孔41内,活塞结构42阻断加压孔41,所述加压板43安装在活塞结构42朝向陶瓷盘2一侧,所述盖板44于压力板101背离陶瓷盘2一侧安装于压力板101上,盖板44闭合加压孔41,所述进气嘴45安装在盖板44上,进气嘴45连通加压孔41。
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