创微微电子(常州)有限公司左国军获国家专利权
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龙图腾网获悉创微微电子(常州)有限公司申请的专利光罩翻转装置及设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223792467U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520504029.7，技术领域涉及：B65G47/90；该实用新型光罩翻转装置及设备是由左国军;蔡嘉雄;孙伟;邱开宇设计研发完成，并于2025-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本光罩翻转装置及设备在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体生产设备制造技术领域，具体涉及光罩翻转装置及设备，本装置包括：两翻转组件，其夹持端相对设置，且两夹持端之间具有夹持工位；其中，所述翻转组件朝向夹持工位的一侧具有两夹爪；以及，光罩置于夹持工位时，两翻转组件分别通过夹爪夹持光罩的对角，且夹爪与光罩的一边接触。通过设置两翻转组件，并在翻转组件上设置两夹爪，两翻转组件的夹爪分别夹持光罩的一对对角，并使每个夹爪与光罩的一边接触，以防止光罩从翻转组件上滑落，以及大夹持力损害光罩。
本实用新型光罩翻转装置及设备在权利要求书中公布了：1.一种光罩翻转装置，其特征在于，包括： 两翻转组件1，其夹持端相对设置，且两夹持端之间具有夹持工位7； 其中，所述翻转组件1朝向夹持工位7的一侧具有两夹爪11； 以及，光罩置于夹持工位7时，两翻转组件1分别通过夹爪11夹持光罩的对角，且夹爪11与光罩的一边接触。
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