武汉帝尔激光科技股份有限公司饶浩乾获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉帝尔激光科技股份有限公司申请的专利一种蚀刻设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223793055U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422967118.3，技术领域涉及：C03C15/00；该实用新型一种蚀刻设备是由饶浩乾;万胜;朱凡设计研发完成，并于2024-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种蚀刻设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种蚀刻设备。该蚀刻设备包括：真空浸润装置包括浸润槽和真空机构，真空机构连接浸润槽并用于对浸润槽抽真空；碱腐蚀装置中，第一温控组件用于控制碱液槽内的碱液处于预设的第一温度值，第一鼓泡组件用于在碱液中产生气泡；和或，酸腐蚀装置包括酸液槽、第二温控组件和第二鼓泡组件，第二温控组件用于控制酸液槽内的酸液不超过预设的第二温度值，第二鼓泡组件用于在酸液中产生气泡；搬运装置将经真空浸润装置处理后的物料搬运至碱腐蚀装置和酸腐蚀装置中的至少一者。通过上述方式，本申请提供的蚀刻设备能够基于需求定制与玻璃基板相适应的最优湿法蚀刻工艺，能够极大地提升玻璃基板的成孔效率。
本实用新型一种蚀刻设备在权利要求书中公布了：1.一种蚀刻设备，其特征在于，包括： 真空浸润装置，包括浸润槽和真空机构，所述浸润槽内盛有浸润液体，所述真空机构连接所述浸润槽并用于对所述浸润槽抽真空； 碱腐蚀装置，包括碱液槽、第一温控组件和第一鼓泡组件，所述第一温控组件用于控制所述碱液槽内的碱液处于预设的第一温度值，所述第一鼓泡组件设置于所述碱液槽的底部，用于在所述碱液中产生气泡；和或 酸腐蚀装置，包括酸液槽、第二温控组件和第二鼓泡组件，所述第二温控组件用于控制所述酸液槽内的酸液不超过预设的第二温度值，所述第二鼓泡组件设置于所述酸液槽的底部，用于在所述酸液中产生气泡； 搬运装置，用于将经所述真空浸润装置处理后的物料搬运至所述碱腐蚀装置和所述酸腐蚀装置中的至少一者。
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