富耐克超硬材料股份有限公司吴明慧获国家专利权
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龙图腾网获悉富耐克超硬材料股份有限公司申请的专利金刚石涂层用导流机构及HFCVD炉获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223793237U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423244187.8，技术领域涉及：C23C16/27；该实用新型金刚石涂层用导流机构及HFCVD炉是由吴明慧;罗衍博;张敏捷;雷君设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本金刚石涂层用导流机构及HFCVD炉在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种金刚石涂层用导流机构及HFCVD炉。所述导流机构包括机构本体、导流大孔和导流中孔，所述导流大孔和导流中孔均匀分布在所述机构本体上，且每一导流中孔设置于相邻的两个导流大孔之间。进一步，所述导流机构中还包括设置在相邻的导流大孔和导流中孔之间的多个导流小孔。因此，基于相同气体流量气体通过的横截面积越小，流速越大的原理，气孔越小，气体流速越快，越能较快到达更远的位置的原理，本实用新型提供的上述导流机构和HFCVD炉通过在导流机构本体上设置导流中孔、导流小孔，可使原料气体中的碳源气被分解后分别沉积在待加工工具的上部、中部及下部，从而实现了金刚石涂层厚度在纵向上的均匀性。
本实用新型金刚石涂层用导流机构及HFCVD炉在权利要求书中公布了：1.一种金刚石涂层用导流机构，其特征在于：包括机构本体、导流大孔和导流中孔，所述导流大孔和导流中孔均匀分布在所述机构本体上，且每一导流中孔设置于相邻的两个导流大孔之间；所述机构本体上还包括均匀分布的多个导流小孔，所述导流小孔设置在相邻的导流大孔和导流中孔之间；所述导流中孔的孔径为所述导流大孔孔径的13-23，所述导流小孔的孔径为所述导流中孔孔径的13-23。
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