浙江创芯集成电路有限公司王典勇获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利真空设备及传送装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223798662U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520232253.5，技术领域涉及：H10P72/30；该实用新型真空设备及传送装置是由王典勇;杨波;史甲;李亚林;叶洲设计研发完成，并于2025-02-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本真空设备及传送装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种真空设备及传送装置，其中，真空设备与吸附组件连接，包括：提供第一传输路径的第一管道，所述第一管道具有第一端和第二端，所述第一管道的第一端与所述吸附组件连接；提供第二传输路径的第二管道，所述第二管道具有第一端和第二端，所述第一传输路径和所述第二传输路径相通；与所述第一管道的第二端和所述第二管道的第一端分别连通，提供具有密闭环境的腔室，且分离并容置气体内特定介质的分离组件；与所述第二管道的第二端连通，沿所述第一传输路径和所述第二传输路径抽吸所述气体的真空发生器。采用上述技术方案，能够提高晶圆传送过程的稳定性。
本实用新型真空设备及传送装置在权利要求书中公布了：1.一种真空设备，其特征在于，与吸附组件连接，所述真空设备包括： 提供第一传输路径的第一管道，所述第一管道具有第一端和第二端，所述第一管道的第一端与所述吸附组件连接； 提供第二传输路径的第二管道，所述第二管道具有第一端和第二端，所述第一传输路径和所述第二传输路径相通； 与所述第一管道的第二端和所述第二管道的第一端分别连通，提供具有密闭环境的腔室，且分离并容置气体内特定介质的分离组件； 与所述第二管道的第二端连通，沿所述第一传输路径和所述第二传输路径抽吸所述气体的真空发生器。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江创芯集成电路有限公司，其通讯地址为：311200 浙江省杭州市萧山区宁围街道平澜路2118号浙江大学杭州国际科创中心水博园区11幢4层-5层(自主申报)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励