成都骏创科技有限公司陈高龙获国家专利权
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龙图腾网获悉成都骏创科技有限公司申请的专利一种静电吸盘载台获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223798675U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520199478.5,技术领域涉及:H10P72/72;该实用新型一种静电吸盘载台是由陈高龙;奉洛阳;廖林;胡兴林设计研发完成,并于2025-02-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种静电吸盘载台在说明书摘要公布了:本实用新型公开一种静电吸盘载台,用于检测静电吸盘的平整度,包括基座、设置于基座顶部的压力感应层以及设置在压力感应层顶部的静电吸附层,静电吸附层顶部用于放置待测产品,所述静电吸附层包括静电吸附电极,所述压力感应层包括压力感应上电极;所述静电吸附电极与压力感应上电极以一体成型的方式配置在一基板上以实现压力感应层与静电吸附层的集成;所述静电吸附电极配置在所述基板的上侧面,所述压力感应上电极配置在所述基板的下侧面;通过将静电吸附电极与压力感应上电极以一体成型的方式配置在同一基板上,实现了压力感应层与静电吸附层的紧密集成。不仅简化了载台的结构,减少了部件间的连接和装配误差,还提高了整体的稳定性和可靠性。
本实用新型一种静电吸盘载台在权利要求书中公布了:1.一种静电吸盘载台,用于检测静电吸盘的平整度,包括基座、设置于基座顶部的压力感应层以及设置在压力感应层顶部的静电吸附层,所述静电吸附层顶部用于放置待测产品,其特征在于: 所述静电吸附层包括静电吸附电极,所述压力感应层包括压力感应上电极; 其中,所述静电吸附电极与压力感应上电极以一体成型的方式配置在一基板上以实现压力感应层与静电吸附层的集成; 其中,所述静电吸附电极配置在所述基板的上侧面,所述压力感应上电极配置在所述基板的下侧面。
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