东莞市诺丽半导体技术有限公司朱晓东获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市诺丽半导体技术有限公司申请的专利用于晶圆预对准的升降装置及设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223798676U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422980486.1,技术领域涉及:H10P72/76;该实用新型用于晶圆预对准的升降装置及设备是由朱晓东;张桂设计研发完成,并于2024-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于晶圆预对准的升降装置及设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种用于晶圆预对准的升降装置及设备,用于晶圆预对准的升降装置包括升降平台、连接机构和升降驱动组件;升降平台用于放置晶圆;升降平台安装于连接机构上;升降驱动组件包括升降竖板、驱动器和旋转结构,驱动器安装于升降竖板上,旋转结构安装于驱动器的输出端,驱动器用于带动旋转结构旋转,连接机构被限制为竖向可滑动地安装于升降竖板上,旋转结构的输出端连接至连接机构;驱动器带动旋转结构旋转时,旋转结构的输出端带动连接机构上升或下降。本实用新型可以实现对升降平台进行精准定位,可以较为精确地控制升降速度,且升降驱动组件的结构较为简单,便于安装。
本实用新型用于晶圆预对准的升降装置及设备在权利要求书中公布了:1.一种用于晶圆预对准的升降装置,其特征在于,包括: 升降平台,用于放置晶圆; 连接机构,所述升降平台安装于所述连接机构上; 升降驱动组件,包括竖向设置的升降竖板、驱动器和旋转结构,所述驱动器安装于所述升降竖板上,所述旋转结构固定安装于所述驱动器的输出端,所述驱动器用于带动所述旋转结构旋转,所述连接机构被限制为竖向可滑动地安装于所述升降竖板上,所述旋转结构的输出端连接至所述连接机构; 所述驱动器带动所述旋转结构旋转时,所述旋转结构的输出端带动所述连接机构上升或下降。
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