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龙图腾网获悉沈阳芯源微电子设备股份有限公司申请的专利一种具有缓冲保护的晶圆抓取装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223798679U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520001007.9，技术领域涉及：H10P72/76；该实用新型一种具有缓冲保护的晶圆抓取装置是由于洋;刘忠贺;李舒驰;张庭霄设计研发完成，并于2025-01-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种具有缓冲保护的晶圆抓取装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体设备技术领域，具体地说是一种具有缓冲保护的晶圆抓取装置，包括外壳体、驱动件、固定手指、活动手指组件，活动手指组件包括转接基座、活动手指主体、导向杆、缓冲弹簧、限位螺钉。本实用新型通过转接基座、活动手指主体、导向杆、缓冲弹簧、限位螺钉的配合设置结构，可在活动手指主体向前直线运动并夹持抓取晶圆时起到一定的缓冲作用，使活动手指主体上的活动夹持凸起与固定手指上的固定夹持凸起两者对晶圆进行夹持抓取时的力被缓冲弹簧卸掉一部分，从结构上减少了晶圆在夹持过程中崩边碎片的可能性，有效保护晶圆，且动作准确稳定，拆装维护方便，便于根据不同工艺需求进行调整。

本实用新型一种具有缓冲保护的晶圆抓取装置在权利要求书中公布了：1.一种具有缓冲保护的晶圆抓取装置，包括外壳体1、驱动件、固定手指2，所述固定手指2的一端固定于所述外壳体1上，所述固定手指2的另一端上设有固定夹持凸起3，所述驱动件位于外壳体的内部，所述驱动件的驱动端连接有连接杆4的一端，所述驱动件的驱动端带动所述连接杆4向所述固定手指2上的固定夹持凸起3所在方向靠近或远离固定手指2上的固定夹持凸起3所在方向，其特征在于：还包括活动手指组件，所述活动手指组件包括转接基座5、活动手指主体6、导向杆7、缓冲弹簧8、限位螺钉9，所述转接基座5与所述连接杆4的另一端连接，所述活动手指主体6上设有活动夹持凸起601，所述活动手指主体6上的活动夹持凸起601与所述固定手指2上的固定夹持凸起3共同用于夹持晶圆，所述活动手指主体6上安装有若干个所述导向杆7的一端，每个所述导向杆7的轴向中心线均平行于所述连接杆4的移动方向，所述转接基座5的远离所述外壳体1的一侧面上开设有若干个导向孔501，每个所述导向杆7的另一端插入至对应的一个所述导向孔501中，所述转接基座5的远离所述外壳体1的一侧面与所述活动手指主体6之间的各所述导向杆7的外侧均套设有所述缓冲弹簧8，每个所述缓冲弹簧8的一端均抵住所述转接基座5，每个所述缓冲弹簧8的另一端均抵住所述活动手指主体6，所述限位螺钉9具有限位头部901及螺纹轴部902，所述限位螺钉9的限位头部901的外径大小大于该限位螺钉9的螺纹轴部902的外径大小，所述限位螺钉9的螺纹轴部902穿过所述活动手指主体6、并与所述转接基座5的远离所述外壳体1的一侧面通过螺纹连接，所述限位螺钉9的轴向中心线平行于所述连接杆4的移动方向，所述限位螺钉9的限位头部901用于对所述活动手指主体6起到轴向限位作用。

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