福建省金石能源股份有限公司郭礼贤获国家专利权
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龙图腾网获悉福建省金石能源股份有限公司申请的专利一种大腔室PECVD的抽、破空结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223813542U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520201358.4，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型一种大腔室PECVD的抽、破空结构是由郭礼贤;余清;刘义军设计研发完成，并于2025-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种大腔室PECVD的抽、破空结构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及PECVD设备领域，公开了一种大腔室PECVD的抽、破空结构，抽、破空结构包括腔室主体，腔室主体底部中间设置有若干个主抽组件，腔室主体底部的前后两侧均设置有若干间隔分布的慢抽破空组件和腔底破空组件。慢抽破空组件包括第一通气管，第一通气管连接慢抽组件和氮气破空组件。腔底破空组件包括第二通气管，第二通气管连接有氮气破空组件和空气破空组件。第一通气管和第二通气管上方还设置有用于降低出气口流速的多层匀流组件。本实用新型不仅能够改善硅片良率而且能够缩短抽真空、破真空时的节拍。
本实用新型一种大腔室PECVD的抽、破空结构在权利要求书中公布了：1.一种大腔室PECVD的抽、破空结构，其特征在于：包括腔室主体，所述腔室主体底部中间设置有若干个主抽组件，腔室主体底部的前后两侧均设置有若干间隔分布的慢抽破空组件和腔底破空组件； 所述主抽组件包括主抽管和主抽控制阀；主抽管一端与腔室主体连通，另一端与外部连通，所述主抽控制阀设置于主抽管上； 所述慢抽破空组件包括第一通气管，第一通气管与腔体连接，第一通气管上连接有氮气破空管和慢抽管，氮气破空管上设置有氮气破空阀，慢抽管上设置有慢抽控制阀； 所述腔底破空组件包括第二通气管，所述第二通气管上连接有氮气破空管和空气破空管，氮气破空管上设置有氮气破空阀，空气破空管上设置有空气破空阀和空气过滤器； 所述第一通气管和第二通气管上方还设置有用于降低出气口流速的多层匀流组件。
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