河北广创电子科技有限公司李勇刚获国家专利权
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龙图腾网获悉河北广创电子科技有限公司申请的专利一种用于提高湿法腐蚀均匀性的装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223816383U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423245954.7，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种用于提高湿法腐蚀均匀性的装置是由李勇刚;冯国春;李玉萍设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于提高湿法腐蚀均匀性的装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及湿法腐蚀技术领域，且公开了一种用于提高湿法腐蚀均匀性的装置，该用于提高湿法腐蚀均匀性的装置，在凸块转动一定距离后会抵触半圆块，使得半圆块通过滑条推动L形联动板，L形联动板被推动时会将弹簧拉伸，并且L形联动板表面开设的通孔会与喷淋嘴对齐，使得连接管内的药液通过喷淋嘴喷出，当凸块转动一定距离后不再抵触半圆块，那么被压缩的弹簧会拉动L形联动板复位，而再次封住喷淋嘴，随着四组凸块的轮流抵触，使喷淋嘴间歇性的只对托盘内固定晶片的部分进行喷淋，避免药液始终喷淋造成极大的浪费，而在托盘的高速转动时，其内部药液受到离心力的作用，药液能够被混合充分，使药液的腐蚀均匀性得到提高。
本实用新型一种用于提高湿法腐蚀均匀性的装置在权利要求书中公布了：1.一种用于提高湿法腐蚀均匀性的装置，包括底座1，其特征在于：所述底座1的顶面固定连接有固定臂3，所述底座1的上方设置有用于对晶片湿法腐蚀稳定的控制部2，所述控制部2包括：连接管21，所述连接管21的底面与固定臂3的顶面固定连接，所述连接管21顶面贯穿并固定连接有进液管22，所述底座1的内壁固定连接有电机23，所述底座1的内部贯穿并转动连接有转轴24，所述转轴24的底面与电机23的输出轴固定连接，所述转轴24的顶面固定连接有托盘25，所述托盘25的表面固定连接有支杆26，所述支杆26的顶面与连接管21的底面转动连接，所述支杆26的表面固定连接有凸块27，所述托盘25的顶面设置有液位传感器215。
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