迈为技术(珠海)有限公司马林获国家专利权
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龙图腾网获悉迈为技术(珠海)有限公司申请的专利晶圆加工装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223816386U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520167122.3，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型晶圆加工装置是由马林;陈超;谭华兴;马庆龙;陈万群;王正根设计研发完成，并于2025-01-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆加工装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种晶圆加工装置，属于半导体加工设备的技术领域，晶圆加工装置包括多轴联动机构、定位机构，以及用于检测晶圆的圆心的拍摄器；所述定位机构包括丝杆、第一定位臂、第二定位臂、驱动器；所述丝杆转动式安装于所述多轴联动机构，所述驱动器安装于所述多轴联动机构并与所述丝杆传动连接，所述丝杆具有螺纹方向相反的第一螺纹段和第二螺纹段，所述第一定位臂与所述丝杆的所述第一螺纹段螺纹连接，所述第二定位臂与所述丝杆的所述第二螺纹段螺纹连接，所述第一定位臂和所述第二定位臂之间形成用于容纳晶圆的定位间隙，所述拍摄器位于所述定位间隙的上方。本实用新型的晶圆加工装置的兼容性和灵活性强，可以提高晶圆加工的效率和质量。
本实用新型晶圆加工装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆加工装置，其特征在于，包括： 多轴联动机构11； 定位机构12，包括丝杆121、第一定位臂122、第二定位臂123、驱动器124； 以及 拍摄器13，用于检测晶圆16的圆心； 所述丝杆121转动式安装于所述多轴联动机构11，所述驱动器124安装于所述多轴联动机构11并与所述丝杆121传动连接，所述丝杆121具有螺纹方向相反的第一螺纹段和第二螺纹段，所述第一定位臂122与所述丝杆121的所述第一螺纹段螺纹连接，所述第二定位臂123与所述丝杆121的所述第二螺纹段螺纹连接，所述第一定位臂122和所述第二定位臂123之间形成用于容纳晶圆16的定位间隙，所述拍摄器13位于所述定位间隙的上方。
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