武汉光迅科技股份有限公司王广阳获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉光迅科技股份有限公司申请的专利一种自动晶圆粘片机的陶瓷基板获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223816389U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-20发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520206837.5,技术领域涉及:H10P72/00;该实用新型一种自动晶圆粘片机的陶瓷基板是由王广阳;熊帅;胡艳;岳爱文设计研发完成,并于2025-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种自动晶圆粘片机的陶瓷基板在说明书摘要公布了:本实用新型涉及晶圆加工技术领域,特别是涉及一种自动晶圆粘片机的陶瓷基板,包括:基板本体和多个可调固定组件,可调固定组件与基板本体螺纹连接;基板本体上设置有多个容纳槽,每个可调固定组件对应一个容纳槽设置,容纳槽用于放置晶圆,可调固定组件包括推块和推杆,推块与容纳槽的槽底滑动连接,推杆与基板本体螺纹连接,推块和推杆转动连接。通过在基板本体的容纳槽内设置可调固定组件,使得容纳槽可以容纳不同规格的晶圆,将晶圆放置在容纳槽内,旋转推杆,使推块与容纳槽的侧壁夹紧晶圆,即可对晶圆进行进一步加工操作,本实用新型的陶瓷基板可以兼容多种规格的晶圆,采用本实用新型所提供的陶瓷基板的方案更有利于控制生产成本。
本实用新型一种自动晶圆粘片机的陶瓷基板在权利要求书中公布了:1.一种自动晶圆粘片机的陶瓷基板,其特征在于,包括:基板本体1和多个可调固定组件2,所述可调固定组件2与所述基板本体1螺纹连接; 所述基板本体1上设置有多个容纳槽10,每个所述可调固定组件2对应一个所述容纳槽10设置,所述容纳槽10用于放置晶圆3,所述可调固定组件2包括推块20和推杆21,所述推块20与所述容纳槽10的槽底滑动连接,所述推杆21与所述基板本体1螺纹连接,所述推块20和所述推杆21转动连接。
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