合肥盛源半导体检测有限公司徐礼庆获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥盛源半导体检测有限公司申请的专利一种用于晶圆烘干的转运装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223816398U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-20发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520160135.8,技术领域涉及:H10P72/30;该实用新型一种用于晶圆烘干的转运装置是由徐礼庆;常凯;吕正红设计研发完成,并于2025-01-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆烘干的转运装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体转运领域,具体涉及一种用于晶圆烘干的转运装置,具有水平支撑台,所述水平支撑台上端放置了转运支架一和转运支架二;所述水平支撑台下端安装有导轨和导向块,所述导轨与所述导向块滑动配合,并且所述导轨前端设置有限位块;其中,所述水平支撑台上方设置竖直推杆,所述竖直推杆通过L形连杆与所述导轨连接;通过所述导轨的移动可以驱动所述竖直推杆向左移动,将位于所述转运支架一内的晶圆推送至所述转运支架二内。该装置通过导轨滑块组件与竖直推杆结合,可以实现晶圆从塑料支架到金属支架的快速、准确转运,再通过杠杆组件的限位,使转运支架二放置于指定位置后才能进行转运,确保晶圆在转运过程中的安全性和稳定性。
本实用新型一种用于晶圆烘干的转运装置在权利要求书中公布了:1.一种用于晶圆烘干的转运装置,其特征在于,具有水平支撑台5,所述水平支撑台5上端放置了转运支架一1和转运支架二2;所述水平支撑台5下端安装有导轨9和导向块3,所述导轨9与所述导向块3滑动配合,并且所述导轨9前端设置有限位块4;其中,所述水平支撑台5上方设置竖直推杆11,所述竖直推杆11通过L形连杆10与所述导轨9连接;通过所述导轨9的移动可以驱动所述竖直推杆11向左移动,将位于所述转运支架一1内的晶圆推送至所述转运支架二2内,完成转运工序。
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