株式会社斯库林集团平井孝典获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理装置及基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113035741B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011539006.8，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权基板处理装置及基板处理方法是由平井孝典设计研发完成，并于2020-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置及基板处理方法在说明书摘要公布了：本发明的基板处理装置能够对已翘曲的基板良好地执行伴有减压和加热的干燥处理。为此，基板处理装置1通过对基板S加热及对其周围空间减压来干燥在基板S的主面上形成的涂敷膜F，其具有：腔室10，具有能够将所述基板S以水平姿势收纳的处理空间；支撑部32，在处理空间SP内，与基板S的下表面相抵接并从下方支撑基板S；矫正构件41，与由支撑部32支撑的基板S的上表面部分地抵接，从而矫正基板S的翘曲；加热部20，在处理空间SP内，加热由支撑部32支撑的基板S的下表面；减压部50，对处理空间SP减压。
本发明授权基板处理装置及基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，通过对基板加热及对其周围空间减压来干燥在所述基板的主面上形成的涂敷膜，其中， 所述基板处理装置具有： 腔室，具有能够将所述基板以水平姿势收纳的处理空间； 支撑部，在所述处理空间内，与所述基板的下表面相抵接并从下方支撑所述基板； 矫正构件，与由所述支撑部支撑的所述基板的上表面部分地抵接，从而矫正所述基板的翘曲； 第一加热部，在所述处理空间内，加热由所述支撑部支撑的所述基板的下表面； 第二加热部，通过从所述处理空间外加热所述腔室的底部，来加热所述基板的周缘部；以及 减压部，对所述处理空间减压。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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