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龙图腾网获悉东莞市多普光电设备有限公司申请的专利一种测量LDI内层对位精度的装置及其内层对位方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113126452B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110428160.6，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种测量LDI内层对位精度的装置及其内层对位方法是由蔡文涛;邱田生;詹泽军设计研发完成，并于2021-04-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种测量LDI内层对位精度的装置及其内层对位方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种测量LDI内层对位精度的装置及其内层对位方法，包括基座，基座上设有XYZ移动台、由该XYZ移动台控制移动的吸盘台面和下对准组件，吸盘台面的一端设有能够移动的标定靶点，基座上还设有支架，支架的横梁上设有第一相机和能够水平移动的第二相机，吸盘台面的边缘间隔设有多个靶点光源；本发明采用双向对摄抓点的视觉对位方法，抓取内层板上下两面的图形点。图形点由LDI曝光在内层板AB面再经显影蚀刻而得，A面和B面的图形点理论同心。先确认好第二相机和下对准组件相对于LDI曝光系统坐标系的旋转矩阵，再让第二相机和下对准组读取同一靶点，获取上下相机的同轴位置。

本发明授权一种测量LDI内层对位精度的装置及其内层对位方法在权利要求书中公布了：1.一种测量LDI内层对位精度的装置，包括基座，其特征在于，所述基座上设有XYZ移动台、由该XYZ移动台控制移动的吸盘台面和下对准组件，所述吸盘台面的一端设有能够移动的标定靶点，所述基座上还设有支架，所述支架的横梁上设有第一相机和能够水平移动的第二相机，所述吸盘台面的边缘间隔设有多个靶点光源； 将内层板放置在所述吸盘台面上，内层板的第一面朝上，激光直接对内层板的第一面图形曝光的同时、所述吸盘台面上的靶点光源对内层板的第二面进行打靶； 内层板的第二面图形曝光时、内层板的第二面朝上放置在所述吸盘台面上，所述第一相机、第二相机和下对准组件对内层板进行对位后、再由所述激光直接对内层板的第二面图形曝光； 所述吸盘台面的一端设有两个对称设置的标定靶点安装板，所述标定靶点安装板通过直线滑轨和滑块连接所述标定靶点，所述标定靶点安装板的端部设有移动气缸，所述移动气缸能够推动所述标定靶点沿着所述直线滑轨移动，所述标定靶点移动寻找与所述下对准组件的同轴位置； 所述透反棱镜包括有反射面和透射面，所述透反棱镜倾斜45度置于一立方体斜镜座上，所述透反棱镜的表面镀有透反膜，所述透反膜对λ450nm光波透射，对λ450nm的光波反射，这里的λ为光波。

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