三星显示有限公司赵俊豪获国家专利权
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龙图腾网获悉三星显示有限公司申请的专利掩模及掩模制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113969391B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110734086.0,技术领域涉及:C23C14/04;该发明授权掩模及掩模制造方法是由赵俊豪;朴永浩;宋昇勇;李宁哲;崔玲硕设计研发完成,并于2021-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本掩模及掩模制造方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种掩模及掩模制造方法。根据本发明的一实施例,掩模制造方法包括如下步骤:在工作台上提供限定多个单元开口部的掩模框架;在所述多个单元开口部中的每一个,提供限定多个第一区域以及布置于所述多个第一区域中的每一个周围的第二区域的单元掩模材料;向所述第二区域照射激光束以使所述第二区域固化;以及去除所述多个第一区域而形成布置于所述多个单元开口部的单元掩模。
本发明授权掩模及掩模制造方法在权利要求书中公布了:1.一种掩模制造方法,包括如下步骤: 在工作台上提供限定多个单元开口部的掩模框架; 在所述多个单元开口部中的每一个,提供限定多个第一区域以及布置于所述多个第一区域中的每一个周围的第二区域的单元掩模材料; 向所述第二区域照射激光束以使所述第二区域固化;以及 去除所述多个第一区域而形成布置于所述多个单元开口部的单元掩模, 提供所述单元掩模材料的步骤包括如下步骤: 向所述多个单元开口部提供第一材料;以及 向所述第一材料上提供包括与所述第一材料不同的物质的第二材料, 其中,通过所述激光束来固化所述单元掩模材料的所述第二区域,且所述第一区域从所述单元掩模材料中被去除。
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