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EV 集团 E·索尔纳有限责任公司F.库尔茨获国家专利权

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龙图腾网获悉EV 集团 E·索尔纳有限责任公司申请的专利用于接合衬底的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114334623B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210003742.4,技术领域涉及:H10P10/00;该发明授权用于接合衬底的方法是由F.库尔茨;T.瓦根莱特纳;T.普拉赫;J.M.聚斯设计研发完成,并于2016-02-16向国家知识产权局提交的专利申请。

用于接合衬底的方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种用于将第一衬底2与第二衬底2'在所述衬底2,2'的接触面2o,2o'处接合的方法,其具有如下步骤、尤其是如下流程:‑用保持力FH1H1将所述第一衬底2保持在第一样品支架1的第一样品支架表面1o上,以及用保持力FH2H2将所述第二衬底2'保持在第二样品支架1'的第二样品支架表面1o'上,‑将所述接触面2o,2o'在接合发起部位20处接触并且至少将所述第二样品支架表面1o,1o'加热到加热温度THH,‑沿着从所述接合发起部位20伸展至所述衬底2,2'的侧边缘2s,2s'的接合波,将所述第一衬底2与所述第二衬底2'接合,其特征在于,在接合期间减小在所述第二样品支架表面1o'上的所述加热温度THH。

本发明授权用于接合衬底的方法在权利要求书中公布了:1.一种用于将第一衬底与第二衬底接合的设备,其包括: 红外摄像机,所述红外摄像机配置成,将涉及在所述第一衬底与所述第二衬底接触期间出现的接合波的数据数字化; 计算机,经过数字化的数据被转交给所述计算机,所述计算机配置成,从所述经过数字化的数据中检测所述接合波的位置,并且基于所述接合波的检测到的位置来控制所述接合波; 第一样品支架,所述第一样品支架配置成,通过第一固定装置用第一保持力FH1来保持所述第一衬底;和 第二样品支架,所述第二样品支架配置成,通过第二固定装置用第二保持力FH2来保持所述第二衬底, 其中所述第一固定装置和所述第二固定装置包括真空部段, 其中所述计算机进一步被配置成,通过对所述第一和第二固定装置的电子控制,来控制从内向外或从外向内降低所述真空部段的真空,和从所述第一和第二样品支架相应分离所述第一和第二衬底。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人EV 集团 E·索尔纳有限责任公司,其通讯地址为:奥地利圣弗洛里安;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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