苏州汉天下电子有限公司吴明获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州汉天下电子有限公司申请的专利一种体声波谐振器、滤波器、通信设备及其制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114614789B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210268917.4,技术领域涉及:H03H9/02;该发明授权一种体声波谐振器、滤波器、通信设备及其制造方法是由吴明;杨清华设计研发完成,并于2022-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种体声波谐振器、滤波器、通信设备及其制造方法在说明书摘要公布了:本公开内容提供一种体声波谐振器,其包括一空腔,所述空腔形成在衬底中或形成在衬底上的一支撑层中;一下电极、一压电层和一上电极;所述下电极、所述压电层和所述上电极的重叠区域构成一三明治结构;以所述衬底上表面作为投影表面,在所述三明治结构中,所述下电极在所述投影表面上的投影形状与所述空腔在所述投影表面上的投影形状不完全重合,且所述空腔和所述下电极在所述衬底上表面的复合投影形状内至少有二个彼此独立的区域,所述独立区域分别由所述空腔的部分轮廓线构成所述独立区域的外轮廓线和所述下电极的部分轮廓线构成所述独立区域的内轮廓线。所述谐振器能提高器件的性能,以及降低工艺难度,提高产品良率,进而提高通信设备的性能。
本发明授权一种体声波谐振器、滤波器、通信设备及其制造方法在权利要求书中公布了:1.一种体声波谐振器,其特征在于包括: 一空腔,所述空腔形成在衬底中或形成在衬底上的一支撑层中; 一下电极、一压电层和一上电极; 所述下电极、所述压电层和所述上电极的重叠区域构成一三明治结构; 以所述衬底上表面作为投影表面,在所述三明治结构中,所述下电极与所述空腔在所述投影表面上的投影形状均形成为多边形,所述下电极在所述投影表面上的投影形状与所述空腔在所述投影表面上的投影形状不完全重合,且所述空腔和所述下电极在所述衬底上表面的复合投影形状内至少有二个彼此独立的区域,所述独立区域分别由所述空腔的部分轮廓线构成所述独立区域的外轮廓线和所述下电极的部分轮廓线构成所述独立区域的内轮廓线,所述下电极形投影形成的多边形的各边分别与所述空腔投影形成的多边形的两条边均相交; 其中所述压电层上对应于未被所述下电极覆盖的所述空腔的位置处具有释放孔。
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