细美事有限公司朴兑晛获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利维护单元及具有该维护单元的基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114649236B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111503770.4，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权维护单元及具有该维护单元的基板处理装置是由朴兑晛设计研发完成，并于2021-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本维护单元及具有该维护单元的基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供具有在校准板的两侧布置的侧板的维护单元及包括该维护单元的基板处理装置。所述基板处理装置包括：工艺处理单元，支承基板；喷墨头模块，向基板喷出处理液；维护单元，与工艺处理单元相邻设置；以及控制单元，利用维护单元校正处理液的喷出位置，其中，维护单元包括：盘，设置在台上；第一侧板，设置在盘上；以及第二侧板，设置在盘上，并且与第一侧板间隔开地设置，且控制单元利用第一侧板和第二侧板来校正处理液的喷出位置。
本发明授权维护单元及具有该维护单元的基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，包括： 工艺处理单元，支承基板； 喷墨头模块，向所述基板喷出处理液； 维护单元，与所述工艺处理单元相邻设置；以及 控制单元，利用所述维护单元校正所述处理液的喷出位置， 其中，所述维护单元包括： 盘，设置在台上； 校准板，设置在所述盘上； 第一侧板，设置在所述盘上；以及 第二侧板，设置在所述盘上，并且与所述第一侧板间隔开地设置， 所述控制单元利用所述第一侧板和所述第二侧板来校正所述处理液的喷出位置，以及 所述校准板的长度方向不同于所述第一侧板和所述第二侧板的长度方向。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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