上海华力微电子有限公司方兴获国家专利权
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龙图腾网获悉上海华力微电子有限公司申请的专利CIS器件的浅沟槽隔离结构缺陷检测结构及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115101508B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210602438.1,技术领域涉及:H10W46/00;该发明授权CIS器件的浅沟槽隔离结构缺陷检测结构及方法是由方兴;秋沉沉;钱俊;孙昌;魏峥颖设计研发完成,并于2022-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本CIS器件的浅沟槽隔离结构缺陷检测结构及方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种CIS器件的浅沟槽隔离结构缺陷检测结构及方法,结构包括:位于切割道内的N型阱区;位于N型阱区内的浅沟槽隔离结构和N型漏区,N型漏区与浅沟槽隔离结构具有一定的距离,浅沟槽隔离结构的宽度满足设计的最小尺寸;位于浅沟槽隔离结构表面的栅氧化物层;位于栅氧化物层表面的栅极。方法包括:向浮栅施加第一电压,第一电压的值从低向高变化;向N型漏区施加第二电压,第一电压的值大于或等于第二电压的值;测试浅沟槽隔离结构的电容值,若值发生突变,则认为浅沟槽隔离结构具有缺陷。通过这种方法检测浅沟槽隔离结构是否具有缺陷,可以不会受到检测手法、检测机台的局限以及范围的影响,检测成本低,耗时短,灵敏度高。
本发明授权CIS器件的浅沟槽隔离结构缺陷检测结构及方法在权利要求书中公布了:1.一种CIS器件的浅沟槽隔离结构缺陷检测结构,其特征在于,包括: 位于切割道内的N型阱区; 位于所述N型阱区内的浅沟槽隔离结构和N型漏区,所述N型漏区与所述浅沟槽隔离结构在水平方向上具有一定的距离,所述浅沟槽隔离结构的宽度满足设计的最小尺寸; 位于所述浅沟槽隔离结构的表面的栅氧化物层;以及 位于所述栅氧化物层的表面的栅极。
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