福建兆元光电有限公司蔡武获国家专利权
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龙图腾网获悉福建兆元光电有限公司申请的专利一种LED芯片的制作方法及用于LED芯片的光罩组获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115425121B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211005541.4，技术领域涉及：H10H20/01；该发明授权一种LED芯片的制作方法及用于LED芯片的光罩组是由蔡武;钟伟华;李景浩;李慧敏;鲁日彬设计研发完成，并于2022-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种LED芯片的制作方法及用于LED芯片的光罩组在说明书摘要公布了：本发明公开一种LED芯片的制作方法及用于LED芯片的光罩组，在LED芯片晶圆上预留量测图形区域；将需量测的量测图形转移至量测图形区域，得到LED芯片晶圆成品；图形转移所使用的光罩组包括多个光罩本体；每一光罩本体上设置有位置相同的量测图形区域；量测图形区域设置有量测图形；多个所述光罩本体上的量测图形区域重叠时，每一所述光罩本体上的所述量测图形互不重叠，不同的量测图形存在一定间距，避免其他线条干扰，且基于量测图形区域通过光刻能够选择性地不镀一些无关线宽量测的、会导致对比度降低的膜层，以此避免了由于图形堆叠或膜层多对比度差而导致的线宽量测值误差大或无数据的情况，从而便于后续AOI机台对LED芯片进行准确的线宽量测。
本发明授权一种LED芯片的制作方法及用于LED芯片的光罩组在权利要求书中公布了：1.一种LED芯片的制作方法，其特征在于，包括步骤： 在LED芯片晶圆上预留量测图形区域； 将需量测的量测图形转移至所述量测图形区域，得到LED芯片晶圆成品； 所述在LED芯片晶圆上预留量测图形区域之后包括： 确定需堆叠图形，所述需堆叠图形为保证与正常产品线宽无差异的图形； 所述将需量测的量测图形转移至所述量测图形区域，得到LED芯片晶圆成品包括： 使用光罩组将所述需堆叠图形和需量测的量测图形转移至所述量测图形区域，得到LED芯片晶圆成品。
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