北京京东方技术开发有限公司;京东方科技集团股份有限公司李文波获国家专利权
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龙图腾网获悉北京京东方技术开发有限公司;京东方科技集团股份有限公司申请的专利MEMS器件及制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115571847B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211168281.2，技术领域涉及：B81B7/02；该发明授权MEMS器件及制备方法是由李文波;刘金豆;张寒冰;王龙;李延钊设计研发完成，并于2022-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本MEMS器件及制备方法在说明书摘要公布了：本公开提供一种MEMS器件及制备方法。具体地，MEMS器件包括：基板；以及功能层，至少部分悬空设置于所述基板上；其中，所述功能层的厚度≥1μm且≤5μm。通过提高功能层的厚度为≥1μm且≤5μm，能够增加功能层悬空结构的强度从而有效避免其塌陷，同时也能满足MEMS器件对悬空结构进行驱动的要求。
本发明授权MEMS器件及制备方法在权利要求书中公布了：1.一种MEMS器件，其特征在于，包括： 基板；以及 功能层，至少部分悬空设置于所述基板上；其中，所述功能层的厚度≥1μm且≤5μm； 所述功能层包括动梳齿、定梳齿和电镀辅助结构；所述电镀辅助结构用于电镀时连接所述动梳齿和所述定梳齿，且在所述电镀之后断开和所述动梳齿、定梳齿的连接。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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