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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利半导体工艺设备及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115681509B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110867111.2，技术领域涉及：F16K1/00；该发明授权半导体工艺设备及其控制方法是由李冰设计研发完成，并于2021-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体工艺设备及其控制方法在说明书摘要公布了：本申请公开一种半导体工艺设备，包括第一工作腔、第二工作腔、隔离阀、主驱动机构、辅助驱动机构和密封圈，其中：隔离阀包括阀体和阀门，阀体设有阀腔、第一传片口和第二传片口，第一传片口和第二传片口均与阀腔连通，第一工作腔与第一传片口连通，第二工作腔与第二传片口连通；阀门可活动地设于阀腔内；主驱动机构用于驱动阀门主体选择性地移动至封闭位置和打开位置处；辅助驱动机构用于阀门主体在封闭位置时，驱动阀门主体朝靠近或者远离第一传片口方向移动，以使密封圈的压缩量维持在预设阈值范围内。上述方案可以解决阀门主体对第一传片口密封时，密封圈的压缩量不在预设阈值范围内的问题。

本发明授权半导体工艺设备及其控制方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺设备，其特征在于，包括第一工作腔100、第二工作腔200、隔离阀300、主驱动机构、辅助驱动机构400和密封圈500，其中： 所述隔离阀300包括阀体310和阀门，所述阀体310设有阀腔311、第一传片口312和第二传片口313，所述第一传片口312和所述第二传片口313均与所述阀腔311连通，所述第一工作腔100与所述第一传片口312连通，所述第二工作腔200与所述第二传片口313连通； 所述阀门可活动地设于所述阀腔311内，所述阀门包括阀门主体321和阀杆322，所述主驱动机构通过所述阀杆322与所述阀门主体321相连，所述阀门主体321具有相背的第一表面321a和第二表面321b，所述第一表面321a通过所述密封圈500对所述第一传片口312进行密封； 所述主驱动机构用于驱动所述阀门主体321选择性地移动至封闭位置和打开位置处，所述封闭位置为所述阀门主体321封闭所述第一传片口312的位置，所述打开位置为所述阀门主体321打开所述第一传片口312的位置； 所述辅助驱动机构400用于在所述阀门主体321在所述封闭位置时，以所述主驱动机构为支点，根据所述第一表面321a受到的第一压力和所述第二表面321b受到的第二压力驱动所述阀杆322绕所述支点转动，通过所述阀杆322带动所述阀门主体321朝靠近或者远离所述第一传片口312方向移动，以使所述密封圈500的压缩量维持在预设阈值范围内。

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