株式会社斯库林集团伊豆田崇获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利衬底处理方法及衬底处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115938981B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211141533.2，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权衬底处理方法及衬底处理装置是由伊豆田崇;田尻博纪;折坂昌幸设计研发完成，并于2022-09-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底处理方法及衬底处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种衬底处理方法及衬底处理装置。衬底处理方法是通过衬底处理装置100来执行的。衬底处理装置100具备处理槽110、及配置在处理槽110的内部的气泡供给管21。衬底处理方法中，衬底保持部120将衬底W浸渍于处理槽110中所贮存的碱性处理液LQ中。气泡供给部200在衬底W浸渍于碱性处理液LQ中的状态下，从衬底W的下方对碱性处理液LQ，从设置在气泡供给管21的多个气泡孔G的各者供给气泡BB。
本发明授权衬底处理方法及衬底处理装置在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理方法，通过衬底处理装置来执行，该衬底处理装置具备处理槽、及配置在所述处理槽的内部的多个气泡供给管，且所述衬底处理方法包括： 浸渍工序，将衬底浸渍于所述处理槽中所贮存的碱性处理液中； 气泡供给工序，在所述衬底浸渍于所述碱性处理液中的状态下，从所述衬底的下方对所述碱性处理液，从设置在所述气泡供给管的多个气泡孔的各者供给气泡；以及 气泡调节工序，针对每个所述气泡供给管来调节所述气泡；且 在所述气泡供给工序中，通过针对每个所述气泡供给管来对所述气泡供给管供给气体，而从所述气泡孔对所述碱性处理液供给所述气泡， 在所述气泡调节工序中，通过针对每个所述气泡供给管来对用于调节所述气泡的控制对象进行控制，而针对每个所述气泡供给管来调节所述气泡， 在所述气泡调节工序中，根据表示将所述衬底浸渍于所述碱性处理液之前的所述衬底的处理量的物理量的分布，而针对每个所述气泡供给管来对所述控制对象进行控制以调节所述衬底的表面上的气泡的分布。
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