咸阳彩虹光电科技有限公司李腾飞获国家专利权
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龙图腾网获悉咸阳彩虹光电科技有限公司申请的专利一种针对TFT产品的LCVD膜晕检测系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223827743U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423236116.3，技术领域涉及：G01R27/02；该实用新型一种针对TFT产品的LCVD膜晕检测系统是由李腾飞;张栓设计研发完成，并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种针对TFT产品的LCVD膜晕检测系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种针对TFT产品的LCVD膜晕检测系统，包括：TFT产品模拟板和测量装置；TFT产品模拟板的电路与实际TFT产品的局部待测电路一致；其在预定成膜区域内沿着成膜扩散方向等间距排列有多条成膜金属检测线；排在首位的作为成膜基线用于限定膜晕的起始位置；TFT产品模拟板设置有贯穿预定成膜区域的两条除膜金属检测线；各成膜金属检测线和除膜金属检测线的末端设置有用于电阻检测的PAD区域；测量装置用于在形成膜晕后，测量成膜基线和之后每一条成膜金属检测线之间的电阻值以确定膜晕范围；在去除膜晕后测量两条除膜金属检测线之间的电阻值以确定膜晕是否被全部去除。本实用新型能准确检测膜晕范围并确定除膜效果。
本实用新型一种针对TFT产品的LCVD膜晕检测系统在权利要求书中公布了：1.一种针对TFT产品的LCVD膜晕检测系统，其特征在于，包括： TFT产品模拟板和测量装置；其中， 所述TFT产品模拟板的电路与实际TFT产品的局部待测电路一致； 所述TFT产品模拟板在预定成膜区域内，沿着成膜扩散方向等间距排列有多条成膜金属检测线；其中排在首位的成膜金属检测线作为成膜基线，用于限定成膜设备在所述预定成膜区域内所形成的膜晕的起始位置；每一条成膜金属检测线的末端设置有用于电阻检测的PAD区域； 所述TFT产品模拟板设置有贯穿所述预定成膜区域的两条除膜金属检测线，每一条除膜金属检测线的末端设置有用于电阻检测的PAD区域； 所述测量装置，用于在所述成膜设备在所述预定成膜区域内形成膜晕后，测量所述成膜基线和之后每一条成膜金属检测线之间的电阻值，从而确定膜晕范围；以及，用于在除膜设备依据所述膜晕范围进行膜晕去除操作后，测量所述两条除膜金属检测线之间的电阻值，从而确定膜晕是否被全部去除。
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