无锡旭电科技有限公司陈昊获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡旭电科技有限公司申请的专利一种带有自动找平结构的曝光装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223827954U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520469705.1，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种带有自动找平结构的曝光装置是由陈昊设计研发完成，并于2025-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种带有自动找平结构的曝光装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种带有自动找平结构的曝光装置包括：升降部，安装在所述升降部上的曝光部；所述曝光部包括：万向座，安装在所述升降部上；曝光平台，安装在所述万向座上，所述曝光平台上放置有晶圆；掩膜板，位于所述曝光平台上方，所述掩膜板与曝光平台之间具有预定距离；找平件，包括位于所述晶圆及掩膜板之间的找平固定板，以及设置在所述找平固定板上的找平珠，所述找平固定板连接在找平珠二分之一处，且所述找平珠至少设计三个。本实用新型通过在晶圆和掩膜板之间设计找平件，进行对晶圆与掩膜板进行找平，同时将曝光平台设置在万向座上，进行适应找平工作，进而满足晶圆生产过程中的高重复性和稳定性。
本实用新型一种带有自动找平结构的曝光装置在权利要求书中公布了：1.一种带有自动找平结构的曝光装置，包括： 升降部，安装在所述升降部上的曝光部； 其特征在于，所述曝光部包括： 万向座，安装在所述升降部上； 曝光平台13，安装在所述万向座上，所述曝光平台13上放置有晶圆14； 掩膜板17，位于所述曝光平台13上方，所述掩膜板17与曝光平台13之间具有预定距离； 找平件，包括位于所述晶圆14及掩膜板17之间的找平固定板16，以及设置在所述找平固定板16上的找平珠15，所述找平固定板16连接在找平珠15二分之一处，且所述找平珠15至少设计三个。
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