浙江创芯集成电路有限公司赵国政获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利一种等离子刻蚀设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223828418U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423094387.X，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种等离子刻蚀设备是由赵国政设计研发完成，并于2024-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种等离子刻蚀设备在说明书摘要公布了：本申请提供了一种等离子刻蚀设备，包括：刻蚀腔；进气装置，所述进气装置与所述刻蚀腔连通；加热装置，所述加热装置与所述进气装置连通，以及与所述刻蚀腔连通；其中，所述进气装置向所述加热装置输送待加热的气体，以使所述加热装置加热所述待加热的气体，并为所述刻蚀腔持续提供加热后的气体；所述加热后的气体的温度为使所述刻蚀腔正常工作的温度。本申请实施例提供的等离子刻蚀设备中包括刻蚀腔、进气装置和与所述进气装置及刻蚀腔连通的加热装置，所述加热装置接收所述进气装置提供的待加热的保温气体，加热所述待加热的保温气体后，为所述刻蚀腔提供保温气体，从而使所述刻蚀腔的温度保持稳定，提高等离子刻蚀设备的稳定性。
本实用新型一种等离子刻蚀设备在权利要求书中公布了：1.一种等离子刻蚀设备，其特征在于，包括： 刻蚀腔； 进气装置，所述进气装置与所述刻蚀腔连通； 加热装置，所述加热装置与所述进气装置连通，以及与所述刻蚀腔连通； 其中，所述进气装置向所述加热装置输送待加热的气体，以使所述加热装置加热所述待加热的气体，并为所述刻蚀腔持续提供加热后的气体；所述加热后的气体的温度为使所述刻蚀腔正常工作的温度。
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