至微半导体(上海)有限公司朱良康获国家专利权
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龙图腾网获悉至微半导体(上海)有限公司申请的专利一种湿进湿出和干出切换的传送系统和晶圆清洗系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223829794U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423253197.8，技术领域涉及：H10P72/30；该实用新型一种湿进湿出和干出切换的传送系统和晶圆清洗系统是由朱良康;倪逸枫;丁日成设计研发完成，并于2024-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种湿进湿出和干出切换的传送系统和晶圆清洗系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种湿进湿出和干出切换的传送系统和晶圆清洗系统，晶圆湿进子系统和晶圆湿出干出子系统均和模式切换子系统连接；晶圆湿出干出子系统包括晶圆湿出模块和晶圆干出模块，晶圆湿出模块包括下料湿出槽、下料接收机构、下料转移机构；晶圆干出模块设置在下料湿出槽的上方，包括：干出机构固定板和干出机构悬臂。减少了设备的使用数量，减少了设备的占地面积，降低了生产成本，减少了操作时间和复杂性，提高了工艺效率。
本实用新型一种湿进湿出和干出切换的传送系统和晶圆清洗系统在权利要求书中公布了：1.一种湿进湿出和干出切换的传送系统，其特征在于，包括晶圆湿进子系统、晶圆湿出干出子系统和模式切换子系统，所述晶圆湿进子系统和所述晶圆湿出干出子系统均和所述模式切换子系统连接； 所述晶圆湿出干出子系统包括晶圆湿出模块和晶圆干出模块，所述晶圆湿出模块包括： 下料湿出槽，所述下料湿出槽中盛放有液体； 下料接收机构，所述下料接收机构接收晶圆盒并将晶圆盒中晶圆浸润在所述下料湿出槽的液体中且位于所述下料湿出槽的第一区域； 下料转移机构，将所述晶圆盒移出所述下料湿出槽的所述第一区域，以供所述晶圆盒中的晶圆被取出； 所述晶圆干出模块设置在所述下料湿出槽的上方，包括： 干出机构固定板； 干出机构悬臂，所述干出机构悬臂的上端和所述干出机构固定板连接，下端具有支撑晶圆盒的干出水平支撑结构。
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