上海朗太精密机械有限公司王达获国家专利权
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龙图腾网获悉上海朗太精密机械有限公司申请的专利一种晶圆环锁紧装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223829809U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520183513.4，技术领域涉及：H10P72/76；该实用新型一种晶圆环锁紧装置是由王达设计研发完成，并于2025-02-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆环锁紧装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆环锁紧装置，涉及晶圆环技术领域，包括真空底座、上环板和支撑环，真空底座上方设有上环板，上环板顶部设有安装环槽，支撑环设置在安装环槽内，安装环槽内设有真空管，支撑环上设有通孔，通孔与真空管位置适配，上环板顶部对称设有移动槽，锁紧夹板与移动槽滑动连接，上环板侧壁上设有锁紧螺栓，锁紧螺栓一端与锁紧夹板活动连接本实用新型支撑环支撑的晶圆环本体可通过通孔内的真空管进行真空吸附固定，设置在上环板上的锁紧夹板可通过锁紧螺栓调节实现从晶圆环本体上端两侧进行锁紧固定，锁紧夹板与真空管相配合可实现稳定锁紧晶圆环本体上，避免单一锁紧影响锁紧稳定性。
本实用新型一种晶圆环锁紧装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆环锁紧装置，其特征在于：包括真空底座1、上环板2和支撑环3，所述真空底座1上方设有上环板2，所述上环板2顶部设有安装环槽4，所述支撑环3设置在安装环槽4内，且所述支撑环3形状与晶圆环本体尺寸适配，所述安装环槽4内设有真空管5，所述支撑环3上设有通孔6，所述通孔6与真空管5位置适配，所述真空底座1内部设有真空泵13，所述真空管5与真空泵13连接，所述上环板2顶部对称设有移动槽7，所述移动槽7上方设有锁紧夹板8，所述锁紧夹板8与移动槽7滑动连接，所述上环板2侧壁上设有锁紧螺栓9，所述锁紧螺栓9一端与锁紧夹板8活动连接。
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