浙江吉进科技有限公司冯红旭获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江吉进科技有限公司申请的专利一种用于晶圆片的真空吸附盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223829812U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520031978.8，技术领域涉及：H10P72/78；该实用新型一种用于晶圆片的真空吸附盘是由冯红旭设计研发完成，并于2025-01-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆片的真空吸附盘在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于晶圆片的真空吸附盘，包括水平设置的支撑板，支撑板的上端中部设有连接部，支撑板上围绕连接部呈矩形阵列分布有四个吸附机构，吸附机构包括竖直贯穿支撑板设置的滑孔，滑孔内匹配滑动设有滑动柱，滑动柱内上下贯通设有真空管道，滑动柱的外壁上固定设有位于滑孔下方的上限位块以及位于滑孔下发的下限位块，滑动柱上套设有弹簧，弹簧的上下两端分别与支撑板与下限位块连接，滑动柱的上端设有与真空管道连通的第一连接口，滑动柱的下端设有吸附头，吸附头的下端设有与真空管道连通的吸附口，吸附头与晶圆接触时，滑动柱能在滑孔内滑动从而收缩，通过弹簧进行缓冲，从而能够降低与晶圆的碰撞力度，降低晶圆的破碎概率。
本实用新型一种用于晶圆片的真空吸附盘在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆片的真空吸附盘，其特征在于，包括水平设置的支撑板1，所述支撑板1的上端中部设有连接部2，所述支撑板1上围绕连接部2呈矩形阵列分布有四个吸附机构，所述吸附机构包括竖直贯穿支撑板1设置的滑孔3，所述滑孔3内匹配滑动设有滑动柱4，所述滑动柱4内上下贯通设有真空管道9，所述滑动柱4的外壁上固定设有位于滑孔3下方的上限位块5以及位于滑孔3下发的下限位块6，所述滑动柱4上套设有弹簧7，所述弹簧7的上下两端分别与支撑板1与下限位块6连接，所述滑动柱4的上端设有与真空管道9连通的第一连接口8，所述滑动柱4的下端设有吸附头10，所述吸附头10的下端设有与真空管道9连通的吸附口11。
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