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ASM IP私人控股有限公司C.G.M.德里德获国家专利权

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龙图腾网获悉ASM IP私人控股有限公司申请的专利立式批处理炉组件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112309937B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010729642.0,技术领域涉及:H10P72/30;该发明授权立式批处理炉组件是由C.G.M.德里德;T.G.M.奥斯特拉肯设计研发完成,并于2020-07-27向国家知识产权局提交的专利申请。

立式批处理炉组件在说明书摘要公布了:一种用于处理晶片的立式批处理炉组件,其包括盒操纵空间、晶片操纵空间以及将盒操纵空间与晶片操纵空间分开的第一壁。该壁具有晶片传送开口。晶片传送开口与盒转盘相关,该盒转盘包括具有多个盒支撑表面的转盘台,每个盒支撑表面配置成用于支撑晶片盒。转盘台可通过致动器围绕基本竖直轴线旋转,以将每个盒支撑表面传送到晶片传送开口前面的晶片传送位置以及至少一个盒装载取回位置,其中立式批处理炉组件配置为将晶片盒装载到处于至少一个装载取回位置的转盘台的盒支撑表面上或从其上取回。

本发明授权立式批处理炉组件在权利要求书中公布了:1.一种用于处理晶片的立式批处理炉组件10,包括: -盒操纵空间12; -晶片操纵空间14;以及 -第一壁16,其将盒操纵空间12与晶片操纵空间14分开,并且在第一壁16的指向盒操纵空间12的一侧具有至少一个晶片传送开口18、20,用于晶片盒26的晶片传送位置22、24设置在该至少一个晶片传送开口的前面; 其中,所述至少一个晶片传送开口18、20与至少一个盒转盘28、30相关,该盒转盘包括具有多个盒支撑表面34的转盘台32,每个盒支撑表面34配置成用于支撑晶片盒26,其中,所述转盘台32可通过致动器围绕基本竖直轴线36旋转,以将每个盒支撑表面34传送到: ●至少一个盒装载取回位置38、40,其中,所述立式批处理炉组件配置为将晶片盒26装载到处于至少一个装载取回位置38、40的转盘台32的盒支撑表面34上或从其上取回;以及 ●在晶片传送开口18、20前面的晶片传送位置22、24, 其中,每个转盘台32包括至少三个盒支撑表面34,其中,所述至少一个盒装载接收位置38、40包括第一装载取回位置38和第二装载取回位置40,其中,所述转盘台32可旋转以将三个盒支撑表面34中的每一个传送到第一装载取回位置38、第二装载取回位置40以及晶片传送位置22、24。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人ASM IP私人控股有限公司,其通讯地址为:荷兰阿尔梅勒;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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