豪威半导体(上海)有限责任公司范纯圣获国家专利权
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龙图腾网获悉豪威半导体(上海)有限责任公司申请的专利MicroLED显示面板及其形成方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112768434B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110103713.0,技术领域涉及:H10H29/49;该发明授权MicroLED显示面板及其形成方法是由范纯圣;范世伦设计研发完成,并于2021-01-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本MicroLED显示面板及其形成方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种MicroLED显示面板及其形成方法,MicroLED显示面板包括:驱动晶圆和MicroLED器件;驱动晶圆具有相对的第一表面和第二表面,驱动晶圆临近第一表面的区域分布有驱动电路;第二表面与驱动电路之间设置有多个硅通孔,硅通孔中填充有互连层;MicroLED器件位于驱动晶圆的第二表面一侧;MicroLED器件通过互连层与驱动电路电连接。本发明为一种类BSI图像传感器制程,使高应力的MicroLED器件位于驱动晶圆的第二表面一侧,即使高应力的MicroLED器件远离驱动电路,避免了MicroLED器件例如GaN层的热膨胀等应力直接施予驱动电路造成损伤,进而提高可靠度。
本发明授权MicroLED显示面板及其形成方法在权利要求书中公布了:1.一种MicroLED显示面板,其特征在于,包括:驱动晶圆和MicroLED器件;所述驱动晶圆具有相对的第一表面和第二表面,所述驱动晶圆临近所述第一表面的区域分布有驱动电路;所述第二表面与所述驱动电路之间设置有多个硅通孔,所述硅通孔中填充有互连层;所述MicroLED器件位于所述驱动晶圆的所述第二表面一侧;所述MicroLED器件通过所述互连层与所述驱动电路电连接; 所述MicroLED器件包括MicroLED晶圆、MicroLED芯片块或阵列分布的MicroLED芯片粒;所述MicroLED器件包括GaN层;所述MicroLED晶圆上包括若干MicroLED芯片,每一颗所述MicroLED芯片的电极分别与所述驱动电路电连接,从而每颗所述MicroLED芯片均能够被驱动;所述MicroLED显示面板还包括:载片晶圆;所述载片晶圆与所述驱动晶圆的所述第一表面键合; 所述载片晶圆中形成有贯穿的引出孔,引出金属层填充所述引出孔并与所述驱动电路电连接;或者再分布金属层覆盖所述载片晶圆的侧壁,所述再分布金属层与所述驱动电路电连接。
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