细美事有限公司崔峻荣获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利用于处理基板的装置和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114361097B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111073573.3，技术领域涉及：H10P72/76；该发明授权用于处理基板的装置和方法是由崔峻荣设计研发完成，并于2021-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于处理基板的装置和方法在说明书摘要公布了：本发明涉及用于处理基板的装置和方法。用于处理基板的方法包括：通过在旋转基板的情况下将化学溶液分配到基板上来处理基板，其中，与基板或化学溶液直接接触的接地导电构件包括在支承和旋转基板的支承单元中，在接地导电构件与地之间的接地路径上设置有电流检测器，并且基于由电流检测器检测的电流值控制基板的处理条件。
本发明授权用于处理基板的装置和方法在权利要求书中公布了：1.一种用于处理基板的装置，所述装置包括： 杯状物，在所述杯状物中具有工艺空间； 支承单元，所述支承单元配置为支承所述工艺空间中的所述基板，所述支承单元包括可旋转的支承板； 化学溶液分配单元，所述化学溶液分配单元配置为将化学溶液分配到支承在所述支承单元上的所述基板上；和 导电构件，所述导电构件配置为与所述基板或分配到所述基板上的所述化学溶液中的至少一者直接接触， 其中，所述导电构件接地，并且 其中，在接地的导电构件与地之间的接地路径上设置有电流检测器， 所述装置还包括：数据处理单元，所述数据处理单元配置为处理由所述电流检测器检测的电流值， 所述化学溶液分配单元配置为分配第一化学溶液和不同于所述第一化学溶液的第二化学溶液，并且分配到所述基板上的所述第一化学溶液被所述第二化学溶液代替，并且 其中，在所述第一化学溶液被所述第二化学溶液代替的过程中，当检测到的电流值的变化大于或等于预设值时，所述数据处理单元确定所述第一化学溶液被所述第二化学溶液代替。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人细美事有限公司，其通讯地址为：韩国忠清南道天安市西北区稷山邑四产团五街77号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励