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龙图腾网获悉北京京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司申请的专利投影曝光系统及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114755894B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210289127.4，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权投影曝光系统及其控制方法是由常文博;李月;肖月磊;安齐昌;曹雪;冯昱霖;韩基挏;周毅;王立会;魏秋旭;吴艺凡;曲峰设计研发完成，并于2022-03-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本投影曝光系统及其控制方法在说明书摘要公布了：本申请提供了一种投影曝光系统及其控制方法，投影曝光系统包括：沿第一方向依次设置的光源、液晶开关面板、液晶相位延迟器和相位延迟波片；液晶开关面板包括多个阵列排布的液晶微区开关，用于将光束转换为第一线偏振光，并控制第一线偏振光是否通过进行控制；液晶相位延迟器用于将第一线偏振光的垂直分量和平行分量产生各自的相位延迟，使得垂直分量和平行分量具有设计相位差；相位延迟波片用于将液晶相位延迟器输出的光产生相位延迟，得到并输出第二线偏振光，第二线偏振光的方位角与设计相位差存在对应关系。采用本申请，无需昂贵的掩膜费用，可大面积、高效率、高精度实现液晶取向微区控制，具有低成本、可实时控制调谐等优势。

本发明授权投影曝光系统及其控制方法在权利要求书中公布了：1.一种投影曝光系统，其特征在于，包括：沿第一方向依次设置的光源、液晶开关面板、液晶相位延迟器和相位延迟波片； 所述光源，用于输出光束； 所述液晶开关面板包括多个阵列排布的液晶微区开关，用于将所述光束转换为第一线偏振光，并控制所述第一线偏振光是否通过进行控制；所述液晶相位延迟器，用于将所述第一线偏振光的垂直分量和平行分量产生各自的相位延迟，使得所述垂直分量和所述平行分量具有设计相位差； 所述液晶相位延迟器包括：层叠的第三基板、第三电极、第二液晶功能盒单元、第四电极和第四基板；液晶相位延迟器还包括第二控制电路，第二控制电路与第三电极、第四电极都电连接；所述第三电极或第四电极为整面，所述液晶相位延迟器中的电极是没有图案化的； 所述相位延迟波片，用于将所述液晶相位延迟器输出的光产生相位延迟，得到并输出第二线偏振光，所述第二线偏振光的方位角与所述设计相位差存在对应关系； 还包括控制装置，用于控制液晶开关面板中对应透光区域的液晶微区开关打开，使得第一线偏振光通过，同时控制所有剩余液晶微区开关关闭；所述透光区域为待曝光的光控取向基板对应的一个曝光图案，所述曝光图案包括同一种光取向的至少一个图案单元。

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