北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司刘振兴获国家专利权
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龙图腾网获悉北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司申请的专利晶舟及半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223844234U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423226564.5，技术领域涉及：H10P72/10；该实用新型晶舟及半导体设备是由刘振兴;齐钰浩;董兵;高印博设计研发完成，并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶舟及半导体设备在说明书摘要公布了：本实用新型实施例提供一种晶舟及半导体设备，所述晶舟中的第一喷气孔位于至少部分所述支撑脚之间的所述支撑柱上，且所述第一喷气孔用于朝向所述晶圆设置，从而在对晶舟中的晶圆进行工艺处理的过程中，工艺气体通过至少部分所述支撑脚之间的第一喷气孔喷射在所述晶圆上，来补偿支撑柱附近膜层过薄或过厚的情况，使得晶圆在支撑柱处薄膜的厚度与晶圆中心处薄膜的厚度易相同，且使得晶圆边缘处薄膜的厚度易相同，降低了制程控制的难度，有利于提高产品良率。
本实用新型晶舟及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种晶舟，其特征在于，所述晶舟包括： 支撑柱，所述支撑柱的数量为多个，且沿周向间隔排布； 多个支撑脚，沿所述支撑柱的轴向间隔设置在所述支撑柱上，且不同所述支撑柱上同一高度的所述支撑脚用于承载同一个晶圆； 第一喷气孔，位于至少部分所述支撑脚之间的所述支撑柱上，且所述第一喷气孔用于朝向所述晶圆设置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司，其通讯地址为：102600 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道18号9幢一层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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