香港科技大学(广州)徐巍获国家专利权
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龙图腾网获悉香港科技大学(广州)申请的专利一种周转盒、样品台及湿法移料系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223844241U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202522670038.6,技术领域涉及:H10P72/10;该实用新型一种周转盒、样品台及湿法移料系统是由徐巍;李艺杰设计研发完成,并于2025-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种周转盒、样品台及湿法移料系统在说明书摘要公布了:本申请公开了一种周转盒、样品台及湿法移料系统,涉及半导体加工技术领域,其中一种周转盒包括盒体、盒盖以及单向气阀;盒体内设有存储腔;盒体的顶部设有连通存储腔的开口;盒盖可开闭地安装于开口,且其上设有用于操作自身开启或闭合的操作结构;单向气阀安装于盒体,且自外向内与存储腔单向导通;盒体上还设有用于移动自身的移送配合结构。盒体、盒盖以及单向气阀的配合能够为样品提供一个独立的带有保护气体的洁净空间,该周转盒与随行装置配合时,可以实现对样品的多层隔离防护,进一步提升周转过程中的样品的洁净度,进而提升加工质量。另外,周转盒的操作结构及移送配合结构的设计也为实现自动化协同控制提供了便利,进一步提升效率。
本实用新型一种周转盒、样品台及湿法移料系统在权利要求书中公布了:1.一种周转盒,其特征在于,包括盒体1、盒盖2以及单向气阀4; 所述盒体1内设有存储腔11; 所述盒体1的顶部设有连通所述存储腔11的开口12; 所述盒盖2可开闭地安装于所述开口12,且其上设有用于操作自身开启或闭合的操作结构31; 所述单向气阀4安装于所述盒体1,且自外向内与所述存储腔11单向导通; 所述盒体1上还设有用于移动自身的移送配合结构32。
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