江苏亚电科技股份有限公司钱诚获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏亚电科技股份有限公司申请的专利一种适用多尺寸晶圆篮支撑架获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223844267U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520209496.7，技术领域涉及：H10P72/76；该实用新型一种适用多尺寸晶圆篮支撑架是由钱诚;霍召军;刘川设计研发完成，并于2025-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种适用多尺寸晶圆篮支撑架在说明书摘要公布了：本申请涉及一种适用多尺寸晶圆篮支撑架，属于晶圆生产设备技术领域。本申请的适用多尺寸晶圆篮支撑架，利用第一支撑块、第二支撑块和第三支撑块三个支撑块和两个侧板实现了一个支撑架对两个不同尺寸的第一晶圆篮和第二晶圆篮的支撑，使得晶圆清洗生产设备直接可以适应不同尺寸的晶圆，提高设备的适应能力，同时对于晶圆篮的支撑稳定可靠。
本实用新型一种适用多尺寸晶圆篮支撑架在权利要求书中公布了：1.一种适用多尺寸晶圆篮支撑架，其特征在于，包括： 底座11； 侧板12，为两个，分别位于底座11的两端； 第一支撑块13、第二支撑块14和第三支撑块15，均设置在底座11上位于两个所述侧板12之间，且所述第三支撑块15位于第一支撑块13和第二支撑块14之间； 所述第一支撑块13上设置有第一阶梯踏面131和第二阶梯踏面132，所述第二支撑块14上设置有第三阶梯踏面141，所述第三支撑块15上设置有第四阶梯踏面151，第三阶梯踏面141的设置高度低于第二阶梯踏面132，所述第一阶梯踏面131和第三阶梯踏面141等高，所述第二阶梯踏面132和第四阶梯踏面151等高； 所述第一阶梯踏面131和第三阶梯踏面141用于支撑第一晶圆篮的底部，所述第二支撑块14的侧面以及与距离所述第二支撑块14距离较远的侧板12分别对第一晶圆篮的侧面进行限位； 所述第二阶梯踏面132和第四阶梯踏面151用于支撑第二晶圆篮的底部且两个所述侧板12对第二晶圆篮的侧面进行限位。
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