北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司刘伟获国家专利权
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龙图腾网获悉北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司申请的专利卡盘装置、激光退火设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223844270U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520377534.X，技术领域涉及：H10P72/76；该实用新型卡盘装置、激光退火设备是由刘伟;翟冬梅;姚宇;冉光煜;范朋伟设计研发完成，并于2025-03-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本卡盘装置、激光退火设备在说明书摘要公布了：一种卡盘装置、激光退火设备；卡盘装置包括：承载平台，承载平台包括加热部件和加热部件上的晶圆载盘，晶圆载盘与加热部件之间的间距可调；温度测量部件，用于获取晶圆载盘或晶圆的各个测量位置的温度；水平度测量部件，用于获取晶圆载盘或晶圆的水平度；第一自动调节组件，第一自动调节组件根据温度测量部件获取的温度自动调节晶圆载盘与加热部件之间的间距；第二自动调节组件，第二自动调节组件根据水平度测量部件获取的水平度自动调节晶圆载盘的水平度。第一自动调节组件和第二自动调节组件能够根据温度和水平度自动调节间距和水平度，有利于提高校准晶圆载盘的便捷性和实时性，从而使得工艺处理的效果较佳，进而有利于提高工艺处理的质量。
本实用新型卡盘装置、激光退火设备在权利要求书中公布了：1.一种卡盘装置，其特征在于，包括： 承载平台，所述承载平台包括加热部件、以及设置在所述加热部件上且用于承载晶圆的晶圆载盘，所述晶圆载盘与加热部件之间的间距可调； 温度测量部件，用于获取所述晶圆载盘或晶圆的各个测量位置的温度； 水平度测量部件，用于获取所述晶圆载盘或晶圆的水平度； 第一自动调节组件，位于所述晶圆载盘的底部，所述第一自动调节组件用于根据所述温度测量部件获取的温度，自动调节所述晶圆载盘与所述加热部件之间的间距； 第二自动调节组件，位于所述加热部件的底部，所述第二自动调节组件用于根据所述水平度测量部件获取的水平度，通过所述加热部件自动调节所述晶圆载盘的水平度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司，其通讯地址为：102600 北京市大兴区北京经济技术开发区核心区34M3、42M2、34M4地块；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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