株式会社迪思科久保徹雄获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社迪思科申请的专利卡盘工作台获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113492341B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110332724.6,技术领域涉及:B24B7/22;该发明授权卡盘工作台是由久保徹雄;山下真司设计研发完成,并于2021-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本卡盘工作台在说明书摘要公布了:本发明提供卡盘工作台,晶片能够磨削成均匀的厚度。卡盘工作台3具有形成有与晶片80的定向平面805对应的缺口部303的保持面302,卡盘工作台用于如下的磨削加工:环状的磨削磨具能够通过保持面的圆弧状外周的中心,在从保持在保持面上的晶片的中心到达外周的圆弧状的磨具轨迹中对晶片进行磨削,卡盘工作台具有收纳多孔部30的框体31,使用通过多孔部的保持面的圆弧状外周部分时的磨具轨迹在保持面上的长度与在框体的上表面上的长度之比,将连结在通过缺口部的一端的磨具轨迹中该比成立的框体的外周位置和在通过缺口部的另一端的磨具轨迹中该比成立的框体的外周位置而得的直线作为框体的外周的边。
本发明授权卡盘工作台在权利要求书中公布了:1.一种卡盘工作台,其具有保持面,该保持面以成为与具有定向平面的晶片的作为被磨削面的上表面相似的形状的方式形成有与该定向平面对应地切除而得的直线状的缺口部,该卡盘工作台用于如下的磨削加工:环状的磨削磨具能够通过该保持面的圆弧状的外周的中心,使该保持面的圆弧状的外周的中心与晶片的中心一致,并且使该保持面与晶片的形状一致,在从保持于该保持面上的晶片的中心到达外周的圆弧状的磨具轨迹中对以该保持面的中心为轴进行旋转的晶片进行磨削,其中, 该卡盘工作台具有: 多孔部,其具有该保持面;以及 框体,其使该保持面露出而收纳该多孔部, 按照使该磨具轨迹通过该保持面的圆弧状的外周时的在该保持面上的长度与在该框体的上表面上的长度之比和通过该保持面的直线状的缺口部时的在该保持面上的长度与在该框体的上表面上的长度之比均匀的方式形成该框体。
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