三星显示有限公司柳龙焕获国家专利权
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龙图腾网获悉三星显示有限公司申请的专利显示装置的制造方法及刻蚀溶液获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113539814B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110219066.X，技术领域涉及：H10P50/64；该发明授权显示装置的制造方法及刻蚀溶液是由柳龙焕;曹雨辰;郑钟铉;金载运;宋先镇;赵显德设计研发完成，并于2021-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本显示装置的制造方法及刻蚀溶液在说明书摘要公布了：公开了一种在其中在内表面上涂覆有包含钇的材料的室中制造显示装置的方法和刻蚀溶液，该方法包括以下步骤：在基底上通过干刻蚀形成第一层图案；在第一层图案上沉积第二层材料；在第二层材料上形成光致抗蚀剂图案；通过使用光致抗蚀剂图案作为刻蚀掩模完成第二层图案；以及在干刻蚀以形成第一层图案之后且在第二层材料上形成光致抗蚀剂图案之前，通过使用包括盐酸、硫酸和硝酸中的至少一种的刻蚀溶液来执行附加的酸刻蚀工艺。
本发明授权显示装置的制造方法及刻蚀溶液在权利要求书中公布了：1.一种在室中制造显示装置的方法，在所述室中，包含钇的材料涂覆在内表面上，所述方法包括以下步骤： 在基底上通过干刻蚀形成第一层图案； 在所述第一层图案上沉积第二层材料； 在所述第二层材料上形成光致抗蚀剂图案； 通过使用所述光致抗蚀剂图案作为刻蚀掩模完成第二层图案；以及 在所述干刻蚀以形成所述第一层图案的所述步骤之后且在在所述第二层材料上形成所述光致抗蚀剂图案的所述步骤之前，通过使用包括盐酸、硫酸和硝酸中的至少一种的刻蚀溶液来执行附加的酸刻蚀工艺， 其中，通过所述干刻蚀形成所述第一层图案的所述步骤包括以下步骤：在所述基底上沉积第一层材料；在所述第一层材料上沉积第一光致抗蚀剂；曝光所述第一光致抗蚀剂以完成第一光致抗蚀剂图案；以及在完成所述第一层图案之后，去除或清洁在所述第一层图案上剩余的所述第一光致抗蚀剂图案，并且 其中，所述附加的酸刻蚀工艺去除由涂覆在所述室的所述内表面上的钇产生的第一钇化合物。
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