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FEI 公司I·拉吉克获国家专利权

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龙图腾网获悉FEI 公司申请的专利用于同时相位衬度成像和电子能量损失光谱法的系统和方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114113686B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110974069.4,技术领域涉及:G01Q30/02;该发明授权用于同时相位衬度成像和电子能量损失光谱法的系统和方法是由I·拉吉克;S·维斯普奇;E·G·博世;B·H·弗雷塔设计研发完成,并于2021-08-24向国家知识产权局提交的专利申请。

用于同时相位衬度成像和电子能量损失光谱法的系统和方法在说明书摘要公布了:用于同时相位衬度成像和电子能量损失光谱法的系统和方法。用于用带电粒子对样本进行成像的方法和系统包括沿着主轴将带电粒子引导朝向所述样本,和分别用第一检测器和第二检测器同时检测透射通过所述样本的所述带电粒子的第一部分和第二部分。所述第二检测器定位于所述第一检测器的下游。所述透射带电粒子中的每一个以所述透射带电粒子的方向与所述主轴之间的出射角离开所述样本。所述透射带电粒子的所述第一部分的所述出射角与所述透射带电粒子的所述第二部分的所述出射角重叠。以这种方式,可同时获得互补信息,如结构和组成信息。

本发明授权用于同时相位衬度成像和电子能量损失光谱法的系统和方法在权利要求书中公布了:1.一种用于用带电粒子对样本进行成像的方法,其包括: 沿着主轴将所述带电粒子引导朝向所述样本;和 分别用处于所述主轴中心的第一检测器和定位于所述第一检测器下游的第二检测器同时检测透射通过所述样本的所述带电粒子的第一部分和第二部分,其中透射带电粒子中的每一个以所述透射带电粒子的方向与所述主轴之间的出射角离开所述样本,且所述透射带电粒子的所述第一部分的所述出射角与所述透射带电粒子的所述第二部分的所述出射角重叠。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人FEI 公司,其通讯地址为:美国俄勒冈州;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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