长江存储科技有限责任公司王春荣获国家专利权
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龙图腾网获悉长江存储科技有限责任公司申请的专利晶圆匹配方法及装置、制备方法、电子设备及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114330564B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111655748.1,技术领域涉及:G06F18/22;该发明授权晶圆匹配方法及装置、制备方法、电子设备及存储介质是由王春荣设计研发完成,并于2021-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆匹配方法及装置、制备方法、电子设备及存储介质在说明书摘要公布了:本发明提供一种晶圆匹配方法及装置、制备方法、电子设备及存储介质,晶圆匹配方法包括:获取多个第一晶圆和多个第二晶圆的影响因子集;根据影响因子集降维获取主成分因子集;根据主成分因子集确定每个第一晶圆相对于每个第二晶圆的匹配程度;根据匹配程度从多个第二晶圆中选取与第一晶圆匹配的第二晶圆。本发明不仅通过主成分因子集代表全部的影响因子集,减少了在确定晶圆之间匹配程度时的工作量,有利于提高三维存储器的生产效率,还通过匹配程度对第一晶圆和第二晶圆进行匹配,可保证晶圆之间的匹配为最优稳定匹配,从而提高键合工艺制备的三维存储器件的可靠性。
本发明授权晶圆匹配方法及装置、制备方法、电子设备及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种晶圆匹配方法,其特征在于,包括: 获取多个第一晶圆和多个第二晶圆的影响因子集; 根据所述影响因子集降维获取主成分因子集; 根据所述主成分因子集确定每个所述第一晶圆相对于每个所述第二晶圆的匹配程度; 对于每个所述第一晶圆,根据所述匹配程度排序多个所述第二晶圆以建立第一对照表,第一对照表通过等级1到等级n的顺序来对多个第二晶圆进行匹配程度从高到低的降序排序,其中n为大于1的自然数,且n的数值取决于需要匹配的第二晶圆的数量; 对于每个所述第二晶圆,根据所述匹配程度排序多个所述第一晶圆以建立第二对照表,所述第二对照表通过等级1到等级n的顺序来对多个第一晶圆进行匹配程度从高到低的降序排序,其中n为大于1的自然数,且n的数值取决于第一晶圆的数量; 根据所述第一对照表以及所述第二对照表确定与每一所述第二晶圆匹配的第一晶圆。
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