上海曦智科技有限公司苏湛获国家专利权
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龙图腾网获悉上海曦智科技有限公司申请的专利电光调制器及其制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114660836B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210276684.2，技术领域涉及：G02F1/035；该发明授权电光调制器及其制造方法是由苏湛;华士跃;达迪·塞蒂亚迪;彭博;孟怀宇;沈亦晨设计研发完成，并于2022-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本电光调制器及其制造方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体技术领域，其提供一种电光调制器及其制造方法。在实施方式中，所述电光调制器包括混合波导和位于混合波导两侧的电极，所述制造方法包括：提供第一部件，所述第一部件中至少包含硅层和位于该硅层两侧的导电布线结构；提供第二部件，所述第二部件中包含非线性光学材料层和位于该非线性光学材料层两侧的导电布线结构；将所述第一部件与所述第二部件键合在一起，其中，所述硅层与所述非线性光学材料层层叠在一起形成所述混合波导，并且，所述位于该硅层两侧的导电布线结构与位于该非线性光学材料层两侧的导电布线结构电连接，以形成所述电极。采用本发明的实施方式，能够将小尺寸、高效率、低功耗的电光调制器集成到硅光芯片中。
本发明授权电光调制器及其制造方法在权利要求书中公布了：1.一种电光调制器，其特征在于，包括： 混合波导，所述混合波导包含层叠的硅层和非线性光学材料层，其中，所述硅层与经过刻蚀的所述非线性光学材料层以彼此不接触的方式层叠形成所述混合波导；和 电极，其包括设置在所述混合波导两侧的第一电极和第二电极； 其中，所述混合波导的两端延伸出用于光耦合的耦合端， 所述混合波导两端的耦合端中的至少一者包含渐变结构； 所述渐变结构包括变形部，所述变形部包含层叠的硅层和非线性光学材料层，该变形部的非线性光学材料层的端面包括倾斜面。
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