细美事有限公司郑镇优获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利基板处理装置以及基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114695172B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110899868.X，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权基板处理装置以及基板处理方法是由郑镇优;尹堵铉;李龙熙设计研发完成，并于2021-08-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置以及基板处理方法在说明书摘要公布了：本发涉及基板处理装置以及基板处理方法。根据本发明的实施例的基板处理装置可以包括：基板清洗单元，构成为清洗基板；基板干燥单元，构成为干燥基板；以及搬运机械手，构成为在基板清洗单元和基板干燥单元之间搬运基板，基板干燥单元可以包括具有容纳基板的基板处理空间的基板处理容器，在搬运机械手中可以设置对基板处理容器的表面温度进行测定的表面温度测定传感器。
本发明授权基板处理装置以及基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于，包括： 基板清洗单元，构成为清洗基板； 基板干燥单元，构成为包括具有容纳基板的基板处理空间的基板处理容器来干燥所述基板； 搬运机械手，包括：第一手部，具备对所述基板处理容器的表面温度进行测定的表面温度测定传感器且运出所述基板干燥单元的基板；第二手部，向所述基板清洗单元运进基板；以及第三手部，从所述基板清洗单元运出基板并向所述基板干燥单元运进基板；以及 控制部，基于所述第一手部向所述基板干燥单元移动而测定的所述基板处理容器的表面温度，确定是否将通过所述第三手部从所述基板清洗单元运出的基板运进所述基板干燥单元。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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