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北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)孙莉莉获国家专利权

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龙图腾网获悉北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)申请的专利异形晶片传输的控制方法、装置、电子设备及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114975204B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210596332.5,技术领域涉及:H10P72/30;该发明授权异形晶片传输的控制方法、装置、电子设备及存储介质是由孙莉莉;张文斌;焦宇辉;徐品烈;种宝春;赵祥;张彩山设计研发完成,并于2022-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。

异形晶片传输的控制方法、装置、电子设备及存储介质在说明书摘要公布了:本申请提供了一种异形晶片传输的控制方法、装置、电子设备及存储介质,所述控制方法包括:获取取片指令中的当前取片层,确定当前取片层对应的扫描结果是否指示于具有异形晶片;若是,则确定当前取片层的取片位置;若不是,则将当前取片层加一更新为当前取片层继续确定对应的扫描结果;根据取片位置控制机械手将异形晶片从料盒中取出,传输至工作台进行处理。采用本申请提供的技术方案能够通过将异形晶片附着于玻璃基板上,与玻璃基板一起放置在料盒中,通过扫描料盒的每一层,确定异形晶片的取片位置,控制机械手从料盒的取片位置处取出异形晶片,放置在工作台上,实现无人工干预,自动控制异形晶片的传输,提高异形晶片的加工效率。

本发明授权异形晶片传输的控制方法、装置、电子设备及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种异形晶片传输的控制方法,其特征在于,应用于异形晶片传输的控制系统,所述控制系统包括附着于玻璃基板上的异形晶片、料盒、机械手以及工作台;所述料盒的层数为N层,每层用于盛放所述异形晶片,所述料盒中每层之间的层间距相等;所述机械手中具有检测传感器;所述控制方法包括: 获取扫描指令,根据所述扫描指令控制所述检测传感器扫描所述料盒中的每一层是否具有异形晶片,得到所述料盒中每一层的扫描结果; 获取取片指令中的当前取片层,根据所述料盒中每一层的扫描结果,确定所述当前取片层对应的扫描结果是否指示于具有异形晶片;若是,则确定所述当前取片层的取片位置;若不是,则将所述当前取片层加一更新为当前取片层继续确定对应的扫描结果; 根据所述取片位置控制机械手将所述异形晶片从所述料盒中取出,传输至工作台进行处理; 通过以下步骤得到所述料盒中每一层的扫描结果: 获取所述料盒中第一层可扫描到异形晶片的扫描位置; 根据所述料盒的层数、所述料盒中每层之间的层间距以及所述料盒中第一层可扫描到异形晶片的扫描位置,确定所述料盒中每层可扫描到异形晶片的扫描位置; 根据所述料盒中每层可扫描到异形晶片的扫描位置以及预设余量,确定所述料盒中每层可扫描到异形晶片的扫描范围; 根据所述扫描范围,将料盒的第一层作为当前层控制所述检测传感器从所述料盒当前层的扫描范围的最低处开始上升扫描,并获取所述检测传感器在所述当前层的扫描范围内的扫描信号; 根据在所述当前层的扫描范围内的扫描信号,确定所述当前层的扫描结果,并将所述料盒的下一层更新为当前层继续扫描,直至所述检测传感器当前的扫描位置上升到所述料盒的第N层扫描范围的最高处停止扫描,得到所述料盒中每一层的扫描结果。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所),其通讯地址为:100176 北京市北京经济技术开发区泰河三街1号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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