深圳大学闫培光获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳大学申请的专利片上宽谱多光源系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115097682B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210811900.9,技术领域涉及:G02F1/35;该发明授权片上宽谱多光源系统是由闫培光;孙嘉浩;商镇远;陈浩;杨俊波设计研发完成,并于2022-07-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本片上宽谱多光源系统在说明书摘要公布了:本发明提供一种基于碳化硅的片上宽谱多光源系统,采用硅基氮化硅波导实现,类似的利用三阶非线性光学效应,主要是简并的四波混频,产生光频梳;利用自相位调制、孤子分裂等效应产生超连续谱。通过对光开关模块的电压调控,可实现可选择性的光频梳或超连续谱光源产生,可分别产生不同频率距离的光频梳或可见光至中红外的宽带超连续谱,亦可同时产生光频梳和超连续谱,具有多光源输出的优点。本系统集成在本系统集成于硅基芯片上,在实际制作中易于大规模生产,具有体积小、灵活性高、结构简单、便于与其他系统兼容的优点。
本发明授权片上宽谱多光源系统在权利要求书中公布了:1.一种片上宽谱多光源系统,包括碳化硅层、氮化硅层和硅底层,其特征在于:所述系统包括激光光源1、用于调控光分路的光开关模块2、用于产生不同频率间距的光频梳光源模块3以及用于产生可见光至中红外超连续谱的超连续谱模块4,所述光开关模块2集成有第一电极2-1、第二电极2-2和第三电极2-3,所述光频梳光源模块3集成有第四电极3-7和第五电极3-8,所述光开关模块2内设置有第一碳化硅波导2-4和第二碳化硅波导2-5,所述光频梳光源模块3内设置有第三碳化硅波导3-3、第四碳化硅波导3-4、第五碳化硅波导3-5、第六碳化硅波导3-6,所述超连续谱模块4内设置有第七碳化硅波导4-1,所述光频梳光源模块3还设置有第一微环谐振器3-1、第二微环谐振器3-2,所述第一碳化硅波导2-4、第四碳化硅波导3-4、第五碳化硅波导3-5和第二碳化硅波导2-5、第七碳化硅波导4-1分别一体化设计,所述激光光源1通过端面耦合进入光开关模块2,波导臂上的外加电压改变波导材料的折射率,控制两臂的相位差,利用干涉效应使光路可选择的进入光频梳光源模块3和超连续谱模块4;所述光开关模块2、光频梳光源模块3以及超连续谱模块4集成在碳化硅层;所述第一微环谐振器3-1、第二微环谐振器3-2与第三碳化硅波导3-3、第四碳化硅波导3-4、第五碳化硅波导3-5、第六碳化硅波导3-6之间的距离为设定距离,所述设定距离的设定范围为200-600nm;所述碳化硅层、氮化硅层和硅底层从上至下依次设置,所述硅底层的高度大于氮化硅层的高度,所述氮化硅层高度超过碳化硅层高度的100倍;所述第一电极2-1和第二电极2-2、第二电极2-2和第三电极2-3、第四电极3-7和第五电极3-8之间施加的电源电压范围为0~30V。
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