应用材料公司潘尧令获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利用于腔室条件监测的电容传感器壳体获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115135967B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180015393.1，技术领域涉及：G01D11/24；该发明授权用于腔室条件监测的电容传感器壳体是由潘尧令;P·J·唐;L·泰德斯奇;M·D·威尔沃斯;D·T·麦克科米克设计研发完成，并于2021-01-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于腔室条件监测的电容传感器壳体在说明书摘要公布了：本文公开的实施例包括传感器组件。在实施例中，传感器组件包括传感器模块和壳体组件。在实施例中，所述传感器模块包括；基板；电容器，所述电容器具有在所述基板上的第一电极和第二电极；以及电容到数字转换器CDC，所述CDC电耦合至所述第一电极和所述第二电极。在实施例中，所述壳体组件附接至所述传感器模块并且包括：轴件，其中所述轴件是中空的；以及帽，所述帽在所述轴件的第一端上，其中所述帽具有暴露所述电容器的开口。
本发明授权用于腔室条件监测的电容传感器壳体在权利要求书中公布了：1.一种传感器组件，包括： 传感器模块，其中所述传感器模块包括： 基板； 电容器，所述电容器具有在所述基板上的第一电极和第二电极；以及 电容到数字转换器CDC，所述CDC电耦合至所述第一电极和所述第二电极；以及 壳体组件，所述壳体组件附接至所述传感器模块，其中所述壳体组件包括： 轴件，其中所述轴件是中空的，所述轴件具有第一端，且其中所述传感器模块的所述基板在所述轴件的所述第一端上垂直地横向延伸；以及 帽，所述帽在所述轴件的所述第一端上，其中所述帽具有暴露所述电容器的开口。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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