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龙图腾网获悉合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请的专利无掩模光刻机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115167080B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210892945.3，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权无掩模光刻机是由卞洪飞;侯汪芮;蔡潍;高天设计研发完成，并于2022-07-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本无掩模光刻机在说明书摘要公布了：本发明公开了一种无掩模光刻机和无掩模光刻机的控制方法，无掩模光刻机包括：激光器，匀光器，空间光调制器，投影物镜，基板，运动平台，控制器和光强传感器，空间光调制器相对于运动平台的XY平面绕Z旋转一个固定角度，其图形刷新同步由运动平台位置触发信号控制，光强传感器设置于运动平台，光强传感器用于测量空间光调制器的光强分布；控制器，控制器控制激光器、空间光调制器运动平台和光强传感器的工作参数。根据光强传感器测量的空间光调制器的光强分布，控制器关闭空间光调制器上部分像素，以实现照明均匀性补偿，经控制器处理后，关闭空间光调制器上部分像素，从而达到照明均匀性补偿的效果。

本发明授权无掩模光刻机在权利要求书中公布了：1.一种无掩模光刻机，其特征在于，包括： 激光器1； 匀光器2； 空间光调制器3； 投影物镜4，所述投影物镜4设置于所述空间光调制器3的下方； 运动平台6，所述运动平台6上设置有基板5且所述运动平台6选择性地带动所述基板5移动，所述运动平台6和所述空间光调制器3通过运动平台位置信号同步，所述空间光调制器3相对于所述运动平台6xy平面绕z轴旋转一个固定角度，所述运动平台6的步进距离小于所述空间光调制器3显示宽度； 光强传感器8，所述光强传感器8设置于所述运动平台6，所述光强传感器8用于测量所述空间光调制器3的光强分布，所述光强传感器8的X轴和Y轴与所述运动平台6的X轴和Y轴平行；所述光强传感器8获得的所述空间光调制器3的图像旋转的角度为θ； 其中，所述光强传感器8的Y轴与所述运动平台6的Y轴之间的夹角为θ2，所述光强传感器8获得的所述空间光调制器3的图像旋转的角度为θ1；以及，当所述光强传感器逆时针旋转时，θ、θ1和θ2满足关系式：θ1-θ2=θ，当所述光强传感器顺时针旋转时，θ、θ1和θ2满足关系式：θ-θ1=θ2； 控制器7，所述控制器7控制所述激光器1、所述空间光调制器3所述运动平台6和所述光强传感器8的工作参数；以及， 所述控制器7被配置成： 打开所述激光器1和所述空间光调制器3； 所述控制器7控制所述运动平台6将所述光强传感器8运动至所述投影物镜4之下； 所述控制器7控制所述光强传感器8测量光强分布； 所述控制器7根据测量光强分布并考虑测量误差，产生照明均匀性数据，并发送至所述空间光调制器3； 所述控制器7获得光强传感器8测量的光强分布的二维图像； 根据二维图像按列统计灰度值，当光强传感器8顺时针或逆时针旋转时，为获得准确地统计实际扫描列灰度值，将所述光强传感器8上获得的所述空间光调制器3的图像旋转θ2角度，此时按列统计灰度值，则统计的灰度值则是实际扫描列灰度值； 以多列中最小灰度值的一列为基准，计算各列差值； 按照投影物镜4阴影模型补偿各列差值； 根据各列差值，逐列计算该列需要关闭的像素数； 根据各列关闭的像素数，生成所述空间光调制器照明均匀性补偿BMP图。

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