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龙图腾网获悉中南大学申请的专利一种毫米厚度石英玻璃的高质量切割方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115178892B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210853959.4，技术领域涉及：B23K26/38；该发明授权一种毫米厚度石英玻璃的高质量切割方法是由胡友旺;王亚龙;孙小燕;龙超;郑皓宁设计研发完成，并于2022-07-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种毫米厚度石英玻璃的高质量切割方法在说明书摘要公布了：本发明提出一种毫米厚度石英玻璃的高质量切割方法，充分利用飞秒激光可突破衍射极限的指定位置处极小范围进行高精度加工，并具有空间分辨率高等特点，通过控制激光通量和聚焦条件，主要为飞秒激光进给方式、激光功率、扫描速度以及单次进给量，应用优选的工艺参数的飞秒激光对石英玻璃进行改性加工，再结合超声波辅助HF化学溶液对改性后样品进行选择性刻蚀的方法，实现对毫米厚度石英玻璃的高质量切割。该方法适用于厚度≤1000μm的石英玻璃的切割，使得加工后样品的陡直度可达89°以上，接近理想的角度，边缘崩边尺寸小于2μm，断面粗糙度小于0.5μm，该切割方法具有一定的适用性、可重复性，且能保证加工质量的一致性。

本发明授权一种毫米厚度石英玻璃的高质量切割方法在权利要求书中公布了：1.一种毫米厚度石英玻璃的高质量切割方法，其特征在于，包括如下步骤： 步骤1：搭建飞秒激光加工系统，整个系统主要由飞秒激光器、上位机、光阑、反射镜、光门、物镜、三维运动平台以及CCD相机组成，飞秒激光从激光器出来依次经过光阑、三个反射镜、光门，最后经过物镜垂直聚焦到样品上，飞秒激光器、光门以及三维运动平台均与上位机建立通讯，并可在上位机中进行控制和调整参数，该系统搭建完成后进行光路准直； 步骤2：石英玻璃样品预处理，将石英玻璃分别放在纯水、无水乙醇中用超声波清洗机进行清洗足够时间，然后用氮气吹干，再将干净的样品放置于步骤1中加工系统的载物台上完成样品装夹； 步骤3：石英玻璃及飞秒激光焦点定位，在给予充足照明的条件下，调节CCD相机的视野和焦距，可以清晰地观察采集到石英玻璃的图像；通过上位机调大飞秒激光器的发出激光的能量，激光光束经过物镜聚焦后形成空气电离点，CCD相机能采集到空气电离点的光斑图像，光斑中心即为飞秒激光焦点，根据相机采集到的图像观察和确定样品和激光焦点的位置，控制运动平台带着样品移动至合适位置，并设定为激光加工起始点； 步骤4：设置加工参数，将加工路径程序化，通过控制三维运动平台带着石英玻璃与飞秒激光作相对运动，调整进给方式、飞秒激光功率、扫描速度以及单次进给量，获得飞秒激光对石英玻璃改性加工的最佳参数：采用自下而上的进给方式、激光功率为20mW、扫描速度为400μms、单次进给量为10μm，结合加工参数，把石英玻璃的切割路径转化为三维运动平台的组合运动，并将其程序化集成到上位机的控制软件中，执行程序完成飞秒激光对石英玻璃的改性加工； 步骤5：超声波辅助化学刻蚀，把步骤4中飞秒激光改性后的石英玻璃放置于装有一定浓度的HF溶液的容器中，将该容器放置于超声波清洗机里，设定合适的参数后开启，经过一定时间后完成石英玻璃的切割； 步骤6：切割后石英玻璃后处理，将切割断开的石英玻璃样品分别放在纯水、无水乙醇中用超声波清洗机进行清洗足够时间，然后用氮气吹干，选用超景深显微镜、光学轮廓仪对清洗干净的样品的相关指标进行测量，用以表征切割质量。

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