百达翡丽日内瓦公司雷米·福尼尔获国家专利权
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龙图腾网获悉百达翡丽日内瓦公司申请的专利制造硅钟表部件的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115280247B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180022034.9，技术领域涉及：G04B17/04；该发明授权制造硅钟表部件的方法是由雷米·福尼尔;西尔万·让纳雷设计研发完成，并于2021-03-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本制造硅钟表部件的方法在说明书摘要公布了：根据本发明，一种制造钟表部件的方法包括以下步骤：a提供晶片，该晶片包括第一硅层、第二硅层以及在第一硅层与第二硅层之间的中间氧化硅层9；b蚀刻第一硅层以在其中形成钟表部件的第一部分1a，并蚀刻第二硅层以在其中形成钟表部件的第二部分1b；c去除第一部分1a的元件4与第二部分1b的元件5之间的中间氧化硅层9；d热氧化元件4、5而不使它们相互接触，然后对元件4、5进行去氧化；e将步骤d重复一次或多次，直到获得元件4、5之间的预定距离。
本发明授权制造硅钟表部件的方法在权利要求书中公布了：1.一种制造钟表部件的方法，包括以下步骤： a提供晶片6，所述晶片包括第一硅层7、第二硅层8以及在所述第一硅层7与所述第二硅层8之间的中间氧化硅层9； b蚀刻所述第一硅层7以在其中形成所述钟表部件的第一部分1a，并蚀刻所述第二硅层8以在其中形成所述钟表部件的第二部分1b； c去除所述第一部分1a的元件与所述第二部分1b的元件之间的中间氧化硅层9； 其特征在于，所述方法包括以下附加步骤： d热氧化所述第一部分1a的所述元件和所述第二部分1b的所述元件，而不使所述第一部分1a的所述元件与所述第二部分1b的所述元件相互接触，然后对所述第一部分1a的所述元件和所述第二部分1b的所述元件进行去氧化； e将步骤d重复一次或多次，直到获得所述第一部分1a的所述元件与所述第二部分1b的所述元件之间的预定距离d2。
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